基本信息

書名:半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程（配光盤）

：35.00元

作者:唐龍榖 編著

齣版社：清華大學齣版社

齣版日期：2014-7-1

ISBN：9787302354314

字數：373000

頁碼：235

版次：1

裝幀：平裝

開本：16開

商品重量：0.3kg

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目錄

第1章　仿真基礎
　1．1　TCAD
　　1．1．1　數值計算
　　1．1．2　基於物理的計算
　1．2　Silvaco TCAD
　　1．2．1　主要組件
　　1．2．2　目錄結構
　　1．2．3　文件類型
　1．3　Deckbuild
　　1．3．1　Deckbuild Preferences
　　1．3．2　語法格式
　　1．3．3　go
　　1．3．4　set
　　1．3．5　Tonyplot
　　1．3．6　extract
　1．4　學習方法
　思考題與習題
第2章　二維工藝仿真
　2．1　ATHENA概述
　2．2　工藝仿真流程
　　2．2．1　定義網格
　　2．2．2　襯底初始化
　　2．2．3　工藝步驟
　　2．2．4　提取特性
　　2．2．5　結構操作
　　2．2．6　Tonyplot顯示
　2．3　單項工藝
　　2．3．1　離子注入
　　2．3．2　擴散
　　2．3．3　澱積
　　2．3．4　刻蝕
　　2．3．5　外延
　　2．3．6　拋光
　　2．3．7　光刻
　　2．3．8　矽化物
　　2．3．9　電極
　　2．3．10　幫助
　2．4　集成工藝
　2．5　優化
　　2．5．1　優化設置
　　2．5．2　待優化參數
　　2．5．3　優化目標
　　2．5．4　優化結果
　思考題與習題
第3章　二維器件仿真
　3．1　ATLAS概述
　3．2　器件仿真流程
　3．3　定義結構
　　3．3．1　ATLAS生成結構
　　3．3．2　DevEdit生成結構
　　3．3．3　DevEdit編輯已有結構
　3．4　材料參數及模型
　　3．4．1　接觸特性
　　3．4．2　材料特性
　　3．4．3　界麵特性
　　3．4．4　物理模型
　3．5　數值計算方法
　3．6　獲取器件特性
　　3．6．1　直流特性
　　3．6．2　交流小信號特性
　　3．6．3　瞬態特性
　　3．6．4　高級特性
　3．7　圓柱對稱結構
　3．8　器件仿真結果分析
　　3．8．1　實時輸齣
　　3．8．2　日誌文件
　　3．8．3　Deckbuild提取
　　3．8．4　Tonyplot顯示
　　3．8．5　output和probe
　思考題與習題
第4章　器件電路混閤仿真
　4．1　MixedMode概述
　4．2　電路仿真流程
　4．3　MixedMode的語法
　　4．3．1　網錶狀態
　　4．3．2　控製和電路分析狀態
　　4．3．3　瞬態參數
　4．4　電路仿真示例
　　4．4．1　FRD正嚮恢復仿真
　　4．4．2　FRD反嚮恢復仿真
　　4．4．3　PIN二極管的光響應仿真
　4．5　電路仿真結果分析
　　4．5．1　結果輸齣形式
　　4．5．2　結果分析
　思考題與習題
第5章　高級特性
　5．1　C注釋器
　5．2　自定義材料
　　5．2．1　材料類型
　　5．2．2　自定義材料
　5．3　工藝參數校準
　5．4　DBinternal
　　5．4．1　Template文件
　　5．4．2　Experiment文件
　　5．4．3　DBinternal命令
　5．5　VWF
　　5．5．1　DOE
　　5．5．2　優化
　5．6　三維仿真
　　5．6．1　ATLAS3D
　　5．6．2　Tonyplot3D
　　5．6．3　VictoryCell
　思考題與習題
參考文獻

內容提要

為瞭滿足半導體工藝和器件及其相關領域人員對 計算機仿真知識的需求，幫助其掌握當前先進的計算 機仿真工具，特編寫本書。唐龍榖編著的《半導體工 藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程(附光盤)》 以Silvaco TCAD 2012為背景，由淺入深、循序漸進 地介紹瞭Silvaco TCAD器件仿真基本概念、 Deckbuild集成環境、Tonyplot顯示工具、ATHENA工 藝仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件電路混閤 仿真以及C注釋器等高級工具。
　　本書內容豐富、層次分明、突齣實用性，注重語 法的學習，例句和配圖非常豐富； 所附光盤含有書 中具有獨立仿真功能的例句的完整程序、教學PPT和 大量學習資料。讀者藉助本書的學習可以實現快速入 門，且能深入理解TCAD的應用。
　　本書既可以作為高等學校微電子或電子科學與技 術專業高年級本科生和研究生的教材，也可供相關專 業的工程技術人員學習和參考。

文摘

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