薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范（GB 51136-2015） [Code For Design of Thin Film Transistor Liquid Crystal Display Plant] pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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中华人民共和国工业和信息化部 编

图书标签:

• TFT-LCD
• 显示技术
• 工厂设计
• 规范标准
• GB51136-2015
• 液晶显示
• 薄膜晶体管
• 工业设计
• 电子制造
• 生产线

出版社： 中国计划出版社

ISBN：9158024285802

版次：1

商品编码：11903498

包装：平装

丛书名： 中华人民共和国国家标准

外文名称：Code For Design of Thin Film Transistor Liquid Crystal Display Plant

开本：32开

出版时间：2016-03-01

用纸

内容简介

　　《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范（GB 51136-2015）》适用于新建、改建、扩建薄膜晶体管液晶显示器工厂的工程设计。

内页插图

目录

1 总 则
2 术 语
3 基本规定
4 工 艺
5 厂址选择及总体规划
6 建 筑
7 结 构
8 气体动力
9 供暖、通风、空气调节与净化
10 给水排水
11 电 气
12 防静电
13 化学品
14 空间管理
附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
附录B 微振动标准VC曲线
本规范用词说明
引用标准名录
附：条文说明

前言/序言

建筑工程设计系列标准 GB 51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范 Code For Design of Thin Film Transistor Liquid Crystal Display Plant --- 简介 本规范是为指导和规范薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）工厂的设计工作而制定的一系列技术要求和原则。它涵盖了从厂区总体规划到具体工艺车间、洁净厂房、公用工程系统、安全防护设施等多个层面的设计内容，旨在确保TFT-LCD生产设施在技术先进性、工程可靠性、环境保护及人员安全等方面达到国家现行标准的要求，为产业的持续健康发展提供坚实的基础。 一、 适用范围与基本原则 本规范的核心在于确立TFT-LCD制造环境的特殊性在工程设计中的体现。TFT-LCD生产对环境的洁净度和精确控制有着极高的要求，因此，设计必须遵循以下基本原则： 1. 高洁净度要求： 针对光刻、蚀刻、薄膜沉积、清洗等关键工序对空气洁净度（特别是微粒浓度和温湿度控制）的严格标准，规范对洁净厂房的结构布局、气流组织、送回风系统、密闭性及材料选择做出了详细规定。这包括对万级、千级乃至更高洁净度区域的划分、人员和物料流线设计，以及如何有效隔离外部污染源的策略。 2. 防振动与精确控制： 关键设备，如曝光机、涂胶机和检测设备，对振动极为敏感。规范详细阐述了厂房基础设计、设备安装基础的隔振要求，确保工艺设备的运行精度不受外部环境影响。同时，对精密温湿度控制系统的设计参数、冗余设置和监控手段提出了具体指标。 3. 化学品与气体安全管理： TFT-LCD制造过程中使用大量的腐蚀性、易燃易爆、有毒有害化学品和高纯度工艺气体。设计必须严格遵守国家现行的危险化学品安全管理规范，详细规定了化学品储存库（包括高纯度气体柜、液体化学品储罐区）的选址、防火防爆等级、通风换气次数、泄漏报警系统以及应急处理设施的配置标准。 4. 环保与“三废”处理： 严格执行国家环保法律法规，要求设计中必须包含高效、可靠的“三废”（废水、废气、固体废物）处理系统。特别是对高浓度酸碱废水、含氟废水的预处理和中和设施，以及工艺废气（如有机溶剂蒸汽、酸雾等）的净化处理（如洗涤塔、活性炭吸附等）的设计参数和排放标准进行了明确界定。 二、 总体规划与厂区布局 TFT-LCD工厂的整体布局需要平衡生产效率、安全隔离和未来扩建的可能性。规范要求： 1. 功能分区明确： 厂区应清晰划分出洁净生产区（Fab Area）、辅助生产区（如工艺设备维修间、物料准备区）、公用工程区（如纯水站、电子束站、尾气处理站）和行政生活区。各功能区之间应设置足够的安全间距和防火分隔。 2. 物流与人流优化： 严格区分生产人员、物料和废弃物流线，防止交叉污染和安全隐患。特别是对高风险物料的运输通道，需设计专门的路径和防护措施。 3. 抗震与地质适应性： 考虑到TFT-LCD生产线投资巨大且连续性要求高，设计应充分考虑所在地的地质条件和抗震设防标准，确保在地震等突发事件下，核心生产设施的结构安全和数据恢复能力。 三、 洁净厂房与工艺设备安装设计 这是本规范的重点，直接关系到产品良率和质量。 1. 建筑结构与装修： 洁净厂房内部的墙体、地面、天花板材料必须满足低发尘、耐腐蚀、易清洁的要求。地面应具备良好的抗静电性能和耐磨损特性。结构设计需预留足够的吊装口和设备检修空间。 2. HVAC（暖通空调）系统： 规范对洁净等级对应的换气次数、送风方式（如垂直单向流）、静压差控制、HEPA/ULPA 过滤器的布置和定期完整性测试（DOP/PAO测试）流程提出了具体的技术标准。对空调机组和风管的材质选择也提出了防凝露、防尘要求。 3. 纯水系统（UPW）： 纯水是清洗工序的关键介质。设计需满足超高纯度（电阻率要求）的稳定供应，并详细规定了管路材质（如PFA/PVDF）、焊接工艺、在线监测点位及系统清洗、消毒的规范。 4. 工艺管道系统： 对用于输送高纯气体、化学试剂的管道，规范强调使用高洁净度连接件、专用焊接技术（如轨道焊接），并要求系统投入使用前必须进行严格的吹扫、惰性气体置换和泄漏测试。 四、 公用工程与安全保障系统 本部分旨在确保工厂的稳定运行和人员的绝对安全。 1. 电力与不间断供电（UPS）： 关键工艺设备对电源质量要求极高。设计需包含冗余的配电系统，并根据不同设备的停机敏感度，配置不同容量和持续时间的UPS系统，以应对瞬时或长时间的电力中断。 2. 消防与应急响应： 鉴于有机溶剂和高压气体的存在，规范要求采用分区、分级保护策略。对不同危险等级的区域，应配置相应的灭火介质（如惰性气体灭火系统、细水雾系统等），并设计快速响应的联动报警机制。 3. 电子束线（E-Beam）防护： 若涉及电子束曝光等高能射线工艺，设计必须严格遵循国家辐射防护标准，包括屏蔽体的厚度计算、剂量监测和安全联锁装置的设置。 结论 《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范》是一部面向高技术制造业的综合性工程技术文件，它将先进的半导体/显示器制造工艺需求与严苛的建筑工程标准相结合，是指导和评估TFT-LCD生产设施工程设计质量的重要依据。通过遵循本规范，可以有效降低建设风险，优化运营成本，并保障生产环境的长期稳定性和安全性。

评分☆☆☆☆☆

这本书的排版和装帧确实让人眼前一亮，拿到手里有一种沉甸甸的质感，看得出出版社在细节上是下足了功夫的。内页的纸张选择也相当考究，文字清晰锐利，图表标注细致入微，即便是那些涉及到复杂的电路布局和设备流程的插图，也能让人一眼看出其核心结构。作为一本专业性极强的设计规范，这种高标准的物理呈现，极大地提升了阅读体验。我尤其欣赏它在章节结构上的逻辑梳理，从宏观的厂区规划到微观的洁净室等级划分，层层递进，条理清晰。这对于初次接触相关领域的新手来说，无疑是一个极好的向导，它不像某些行业标准那样晦涩难懂，而是努力在“严谨”与“可读性”之间找到一个完美的平衡点。阅读过程中，我发现许多设计参数的选取都有详实的背景说明，而非生硬的数字堆砌，这使得理解规范背后的设计哲学变得更为顺畅。对于现场工程师而言，这本书的尺寸设计也十分合理，方便携带和随时查阅，体现了对使用者实际工作场景的充分考量。

评分☆☆☆☆☆

我是一位资深的设施维护工程师，过去在处理类似超净环境系统的集成时，经常感到不同规范之间的兼容性是个老大难问题。这本书在处理跨专业接口部分的论述，可以说独树一帜，展现了极高的专业水准。它不仅详细规定了HVAC系统对环境湿度的精准控制要求，还深入探讨了这些控制参数如何直接影响到光刻步骤中关键薄膜沉积的均匀性。更难得的是，它并未止步于描述“做什么”，而是相当深入地剖析了“为什么这么做”——例如，它对不同级别的洁净度区域的材料选择和表面处理工艺给出了极具前瞻性的指导，这些指导直接关联到长期运营的维护成本和停机风险。书中对静电防护（ESD）的章节处理得尤为精妙，它将ESD控制从一个单纯的电气安全问题，提升到了影响最终产品良率的关键工艺参数层面进行论述，这一点对于我们这类需要对全生命周期成本负责的管理者来说，价值是无可估量的。

评分☆☆☆☆☆

这本书的编撰团队显然拥有极其丰富的实战经验，这种“从一线摸爬滚打出来”的专业沉淀，是任何纯理论书籍都无法比拟的。我注意到书中关于化学品供应链和废弃物处理部分的规定，其细节的周密程度令人称奇。它不仅涵盖了常规的酸碱溶液的储存规范，还详细列举了特定高纯度溶剂在不同温度梯度下的泄漏应急预案和中和处理流程。在讨论到高精度自动化传输系统时，书中引用的案例和图示，似乎都能让人联想到实际工厂里那些精密运动部件的协同工作场景。这种“可操作性极强”的特点，让我在做项目招标和供应商评估时，有了一套非常可靠的基准来衡量对方的设计能力。特别是关于氮气、氩气等惰性气体纯化和分配网络的压力波动控制建议，其精确度几乎达到了苛刻的程度，这直接关系到TFT阵列制程中的关键步骤——溅射和刻蚀的成功率。

评分☆☆☆☆☆

从学习和教育的角度来看，这本书的价值也远超一本单纯的“设计指南”。它实际上提供了一套完整的、现代化的TFT-LCD工厂建设思维模型。对于行业研究者而言，书中对未来技术迭代的预留空间和前瞻性规划，提供了绝佳的分析素材。例如，它在讨论柔性显示屏（Flexible Display）配套设施的预留接口时，虽然主要聚焦于现有规范，但其对未来超高精度、超低振动要求的设施冗余设计讨论，显示了其编撰者对行业未来走向的深刻洞察力。我特别欣赏它在风险管理章节的描述，它不仅仅是列举了潜在的事故类型，而是将环境、安全、健康（EHS）标准嵌入到了每一个工程设计决策的底层逻辑中。这种“安全内建”的设计理念，是现代高端制造业不可或缺的灵魂，而这本书恰恰将这一理念贯彻得淋漓尽致，使之成为指导工程实践的最高准则。

评分☆☆☆☆☆

这本书的术语体系建立得非常严谨和一致，这对于跨国项目团队的沟通效率提升具有显著的正面作用。在以往的项目中，我们常因为对某些专业名词理解上的细微偏差，导致多次返工或误判。然而，这本规范在关键技术术语的定义上，做到了前所未有的清晰度，确保了设计人员、施工方和业主之间使用一套统一的语言进行交流。此外，书中对文档管理和设计变更控制流程的详细阐述，虽然看似是行政管理部分，但实际上是保证长期项目质量的关键。它明确了从概念设计到竣工验收过程中，所有重要图纸和数据的版本控制标准，这对于一个投资周期长、技术更新快的产业来说，是规避法律和技术风险的铜墙铁壁。总体而言，它不仅是一本技术手册，更是一套完整的、可执行的项目交付和质量保证体系的集成体现。