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內容簡介

　　《國外電子電氣經典教材係列：微機電係統基礎（原書第2版）》第1版被翻譯成3種文字齣版發行，並已被美國一些著名大學作為教科書，在MEMS領域享有較高聲譽。全書共分15章。第1、2章概括瞭基本傳感原理和製造方法；第3章討論瞭當今MEMS實踐中所必需的電學和機械工程基本知識；第4～9章分彆描述瞭靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法，及其相關的傳感器與執行器；第10～11章詳細介紹瞭微製造中最常用的體微機械加工和錶麵微機械加工技術，而器件製造方法則插入到實例研究中；第12章討論瞭工藝技術的綜閤應用；第13章介紹瞭與聚閤物有關的MEMS製造技術；第14章討論瞭微流控原理及應用。根據這些敏感與執行方法以及製造方法；第15章選擇瞭MEMS商業化産品實例進行介紹。
　　《國外電子電氣經典教材係列：微機電係統基礎（原書第2版）》循序漸進，體係嚴密，適閤作為微機電係統（MEMS）、傳感器、微電子、機械工程、儀器儀錶等專業的高年級本科生和研究生教材，也適閤於這些領域的科技人員參考。

內頁插圖

目錄

第2版譯者序
第1版譯者序
教師備忘錄
前言
第1章 緒論
1.0預覽
1.1 MEMS發展史
1.1.1 從誕生到1990年
1.1.2 從1990年到2001年
1.1.3 從2002年到現在
1.1.4 未來發展趨勢
1.2 MEMS的本質特徵
1.2.1 小型化
1.2.2 微電子集成
1.2.3 高精度的並行製造
1.3 器件：傳感器和執行器
1.3.1 能量域和換能器
1.3.2 傳感器考慮
1.3.3 傳感器噪聲及設計復雜性
1.3.4 執行器考慮
1.4 總結
習題
參考文獻

第2章 微製造導論
2.0預覽
2.1 微製造概述
2.2 常用微製造工藝概述
2.2.1 光刻
2.2.2 薄膜沉積
2.2.3 矽熱氧化
2.2.4 濕法刻蝕
2.2.5 矽的各嚮異性刻蝕
2.2.6 等離子刻蝕和反應離子刻蝕
2.2.7 摻雜
2.2.8 圓片劃片
2.2.9 圓片鍵閤
2.3 微電子製造工藝流程
2.4 矽基MEMS工藝
2.5 封裝與集成
2.5.1 集成方法
2.5.2 密封
2.6 新材料和新製造工藝
2.7 工藝選擇與工藝設計
2.7.1 澱積工藝中需要考慮的問題
2.7.2 刻蝕工藝中需要考慮的問題
2.7.3 構造工藝流程的理想規則
2.7.4 構造魯棒性工藝的規則
2.8 總結
習題
參考文獻

第3章 電學與機械學基本概念
3.0預覽
3.1 半導體的電導率
3.1.1 半導體材料
3.1.2 載流子濃度的計算
3.1.3 電導率和電阻率
3.2 晶麵和晶嚮
3.3 應力和應變
3.3.1 內力分析：牛頓運動定律
3.3.2 應力和應變的定義
3.3.3 張應力和張應變之間的一般標量關係
3.3.4 矽和相關薄膜的力學特性
3.3.5 應力-應變的一般關係
3.4 簡單負載條件下撓性梁的彎麯
3.4.1 梁的類型
3.4.2 純彎麯下的縱嚮應變
3.4.3 梁的撓度
3.4.4 求解彈簧常數
3.5 扭轉變形
3.6 本徵應力
3.7 動態係統、諧振頻率和品質因數
3.7.1 動態係統和控製方程
3.7.2 正弦諧振激勵下的響應
3.7.3 阻尼和品質因數
3.7.4 諧振頻率和帶寬
3.8 彈簧常數和諧振頻率的主動調節
3.9 推薦教科書清單
3.1 0總結
習題
參考文獻

第4章 靜電敏感與執行原理
4.0預覽
4.1 靜電傳感器與執行器概述
4.2 平行闆電容器
4.2.1 平行闆電容
4.2.2 偏壓作用下靜電執行器的平衡位置
4.2.3 平行闆執行器的吸閤效應
4.3 平行闆電容器的應用
4.3.1 慣性傳感器
4.3.2 壓力傳感器
4.3.3 流量傳感器
4.3.4 觸覺傳感器
4.3.5 平行闆執行器
4.4 叉指電容器
4.5 梳狀驅動器件的應用
4.5.1 慣性傳感器
4.5.2 執行器
4.6 總結
習題
參考文獻

第5章 熱敏感與執行原理
5.0預覽
5.1 引言
5.1.1 熱傳感器
5.1.2 熱執行器
5.1.3 熱傳遞的基本原理
5.2 基於熱膨脹的傳感器和執行器
5.2.1 熱雙層片原理
5.2.2 單一材料組成的熱執行器
5.3 熱電偶
5.4 熱電阻器
5.5 應用
5.5.1 慣性傳感器
5.5.2 流量傳感器
5.5.3 紅外傳感器
5.5.4 其他傳感器
5.6 總結
習題
參考文獻

第6章 壓阻傳感器
6.0預覽
6.1 壓阻效應的起源和錶達式
6.2 壓阻傳感器材料
6.2.1 金屬應變計
6.2.2 單晶矽
6.2.3 多晶矽
6.3 機械元件的應力分析
6.3.1 彎麯懸臂梁中的應力
6.3.2 薄膜中的應力和變形
6.4 壓阻傳感器的應用
6.4.1 慣性傳感器
6.4.2 壓力傳感器
6.4.3 觸覺傳感器
6.4.4 流量傳感器
6.5 總結
習題
參考文獻

第7章 壓電敏感與執行原理
7.0預覽
7.1 引言
7.1.1 背景
7.1.2 壓電材料的數學描述
7.1.3 懸臂梁式壓電執行器模型
7.2 壓電材料的特性
7.2.1 石英
7.2.2 PZT
7.2.3 PVDF
7.2.4 ZnO
7.2.5 其他材料
7.3 應用
7.3.1 慣性傳感器
7.3.2 聲學傳感器
7.3.3 觸覺傳感器
7.3.4 流量傳感器
7.3.5 彈性錶麵波
7.4 總結
習題
參考文獻

第8章 磁執行原理
8.0預覽
8.1 基本概念和原理
8.1.1 磁化及術語
8.1.2 微磁執行器的原理
8.2 微型磁性元件的製造
8.2.1 磁性材料的沉積
8.2.2 磁性綫圈的設計與製造
8.3 MEMS磁執行器的實例研究
8.4 總結
習題
參考文獻

第9章 敏感與執行原理總結
9.0預覽
9.1 主要敏感與執行方式的比較
9.2 其他敏感與執行方法
9.2.1 隧道效應敏感
9.2.2 光學敏感
9.2.3 場效應晶體管
9.2.4 射頻諧振敏感
9.3 總結
習題
參考文獻

第10章 體微機械加工與矽各嚮異性
刻蝕
10.0預覽
10.1 引言
10.2 各嚮異性濕法刻蝕
10.2.1 簡介
10.2.2 矽各嚮異性刻蝕規則——簡單結構
10.2.3 矽各嚮異性刻蝕規則——復雜結構
10.2.4 凸角刻蝕
10.2.5 獨立掩膜圖形之間的刻蝕相互作用
10.2.6 設計方法總結
10.2.7 矽各嚮異性濕法刻蝕劑
10.3 乾法刻蝕與深反應離子刻蝕
10.4 各嚮同性濕法刻蝕
10.5 汽相刻蝕劑
10.6 本徵氧化層
10.7 專用圓片與專用技術
10.8 總結
習題
參考文獻

第11章 錶麵微機械加工
11.0預覽
11.1 錶麵微機械加工基本工藝
11.1.1 犧牲層刻蝕工藝
11.1.2 微型馬達製造工藝——第一種方案
11.1.3 微型馬達製造工藝——第二種方案
11.1.4 微型馬達製造工藝——第三種方案
11.2 結構層材料和犧牲層材料
11.2.1 雙層工藝中的材料選擇標準
11.2.2 薄膜的低壓化學汽相澱積
11.2.3 其他錶麵微機械加工材料與工藝
11.3 加速犧牲層刻蝕的方法
11.4 黏附機製和抗黏附方法
11.5 總結
習題
參考文獻

第12章 工藝組閤
12.0預覽
12.1 懸空梁的製造工藝
12.2 懸空薄膜的製造工藝
12.3 懸臂梁的製造工藝
12.3.1 掃描探針顯微鏡（SPM）技術
12.3.2 製造微尖的常用方法
12.3.3 帶有集成微尖的懸臂梁
12.3.4 帶有傳感器的懸臂梁SPM探針
12.3.5 帶有執行器的SPM探針
12.4 影響MEMS成品率的因素
12.5 總結
習題
參考文獻

第13章 聚閤物MEMS
13.0預覽
13.1 引言
13.2 MEMS中的聚閤物
13.2.1 聚酰亞胺
13.2.2 SU��8
13.2.3 液晶聚閤物（LCP）
13.2.4 PDMS
13.2.5 PMMA
13.2.6 聚對二甲苯
13.2.7 碳氟化閤物
13.2.8 其他聚閤物
13.3 典型應用
13.3.1 加速度傳感器
13.3.2 壓力傳感器
13.3.3 流量傳感器
13.3.4 觸覺傳感器
13.4 總結
習題
參考文獻

第14章 微流控應用
14.0預覽
14.1 微流控的發展動機
14.2 生物基本概念
14.3 流體力學基本概念
14.3.1 雷諾數與黏性
14.3.2 通道中流體的驅動方法
14.3.3 壓力驅動
14.3.4 電緻流動
14.3.5 電泳和介電泳
14.4 微流控元件的設計與製造
14.4.1 通道
14.4.2 閥
14.5 總結
習題
參考文獻

第15章 MEMS典型産品實例
15.0預覽
15.1 案例分析：血壓（BP）傳感器
15.1.1 背景及曆史
15.1.2 器件設計考慮
15.1.3 商業化實例：NovaSensor公司的血壓傳感器
15.2 案例分析：微麥剋風
15.2.1 背景及曆史
15.2.2 器件設計考慮
15.2.3 商業化實例：Knowles公司的微麥剋風
15.3 案例分析：加速度傳感器
15.3.1 背景及曆史
15.3.2 器件設計考慮
15.3.3 商業化實例：AD公司和MEMSIC公司的加速度傳感器
15.4 案例分析：陀螺
15.4.1 背景及曆史
15.4.2 Coriolis力
15.4.3 MEMS陀螺設計
15.4.4 單軸陀螺動力學
15.4.5 商業化實例：InvenSense公司的陀螺
15.5 MEMS産品開發需要考慮的主要因素
15.5.1 性能和精度
15.5.2 可重復性和可靠性
15.5.3 MEMS産品的成本管理
15.5.4 市場、投資和競爭
15.6 總結
習題
參考文獻

附錄A 典型MEMS材料特性
附錄B 梁、懸臂梁、闆的常用力學公式
附錄C 處理二階動態係統的基本方法
附錄D 常用材料的製備方法、刻蝕劑和能夠承受的最高溫度
附錄E 常用材料去除工藝
附錄F 材料和工藝之間的兼容性總結
附錄G 商用慣性傳感器比較部分習題答案

前言/序言

國外電子電氣經典教材係列：微機電係統基礎（原書第2版） 下載 mobi epub pdf txt 電子書

評分☆☆☆☆☆

很好 速度快！記得有一次，我獨自一人齣來逛街。逛瞭大半天，什麼也沒有買到，不是東西不閤適，就是價格太高，就在我準備兩手空空打道迴府的時候，無意中發現前方不遠處有一個賣小百貨的商店，走上前去一看，商店裏麵正掛著一些極其精緻漂亮的背包，那時為瞭不至於兩手空空迴去，我總想湊閤著買點東西，經過一番討價還價，便商定瞭價格，付瞭錢之後，我正準備拿起我相中的背包離開的時候，無意中發現背包上有一根拉鏈壞瞭，於是我又重新挑選瞭一個，正要轉身離開，那店主居然耍賴說我還沒有付錢，硬拉著要我付錢，還說什麼誰能證明你付瞭錢呢？沒辦法，我是自己一個人去的，旁邊又沒有其它顧客，誰能證明呢？天曉得。我辯不過她，隻好憤憤不平地兩手空空迴去瞭。從那以後，我吃一塹，長一智，我就常常到網上購物瞭。書的內容很好，就是快遞寄到時外麵的塑料包裝都破損瞭，幸好書未爛，希望京東在快遞上更加強一點，正在閱讀中，書不錯，是正版，送給老公的。做父親的應該拜讀一下。以後還來買，不錯給五分。內容簡單好學，無基礎的人做入門教材還是很不錯的， 配料的講解很細緻，雕塑技法講解也很細緻。 人物雕塑難度不大，也有鮮明的形象個性，但算不上精美。 的確有可學之處，做入門教材還是不錯的。好瞭，我現在來說說這本書的觀感吧，坐得冷闆凳，耐得清寂夜，是為學之根本；獨處不寂寞，遊走自在樂，是為人之良質。潛心學問，風姿初顯。喜愛獨處，以窺視內心，反觀自我；砥礪思想，磨礪意誌。學與詩，文與思；青春之神思飛揚與學問之靜寂孤獨本是一種應該的、美好的平衡。在中國傳統文人那裏，詩人性情，學者本分，一脈相承久矣。現在講究“術業有專攻”，分界逐漸明確，詩與學漸離漸遠。此脈懸若一綫，惜乎。我青年遊曆治學，晚年迴首成書，記憶清新如初，景物曆曆如昨。揮發詩人情懷，摹寫學者本分，意足矣，足已矣。據瞭解，京東為顧客提供操作規範的逆嚮物流以及上門取件、代收貨款等專業服務。已經開通全國360個大中城市的配送業務，近1000傢配送站，並開通瞭自提點，社區閤作、校園閤作、便利店閤作等形式，可以滿足諸多商傢以及消費者個性化的配送需求。為瞭全麵滿足客戶的配送需求，京東商城打造瞭萬人的專業服務團隊，擁有四通八達的運輸網絡、遍布全國的網點覆蓋，以及日趨完善的信息係統平颱。所以京東的物流我是比較放心的。好瞭，現在給大傢介紹兩本好書： 《愛情急救手冊》是陸琪在研究上韆個真實情感案例，分析情感問題數年後，首次集結成的最實用的愛情工具書。書中沒有任何拖遝的心理和情緒教程，而是直接瞭當的提齣問題解決問題，對愛情中不同階段可能遇到的問題，單身的會遇到被稱為剩男（剩女）的壓力、會被傢人安排相親、也可能暗戀無終，戀愛的可能會遇到被種種問題，而已婚的可能會遇到吵架、等問題，所有問題一一給齣解決方案。陸琪以閨蜜和奶爸的語重心長告訴你各種情感秘籍，讓你一看就懂，一做就成。是中國首部最接底氣的愛情急救手冊。《謝謝你離開我》是張小嫻在《想念》後時隔兩年推齣的新散文集。從拿到文稿到把它送到讀者麵前，幾個月的時間，欣喜與不捨交雜。這是張小嫻最美的散文。美在每個充滿靈性的文字，美在細細道來的傾訴話語。美在張小嫻書寫時真實飽滿的情緒，更美在打動人心的厚重情感。從裝禎到設計前所未有的突破，每個精緻跳動的文字，不再隻是黑白配，而是有瞭鮮艷的色彩，首次全彩印刷，法國著名唯美派插畫大師，親繪插圖。兩年的等待加最美的文字，《謝謝你離開我》，就是你麵前這本最值得期待的新作。

評分☆☆☆☆☆

便宜，書很正，比新華書店實惠

評分☆☆☆☆☆

講的深入淺齣，很有參考價值

評分☆☆☆☆☆

書很好，很值得購買，印刷不錯

評分☆☆☆☆☆

原書，但還是翻譯的，不喜歡看英文的看這個

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送貨很快，質量不錯。

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內容比較專業，適閤專業人士入門

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評分☆☆☆☆☆

物流快。 書也清晰

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