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黃慶安著

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店鋪：韻讀圖書專營店

齣版社：國防工業齣版社

ISBN：9787118097849

商品編碼：29755833027

包裝：平裝

齣版時間：2015-03-01

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微米納米器件設計 9787118097849 pdf epub mobi txt 電子書下載

具體描述

圖書基本信息
圖書名稱	微米納米器件設計	作者	黃慶安
定價	118.00元	齣版社	國防工業齣版社
ISBN	9787118097849	齣版日期	2015-03-01
字數		頁碼
版次	1	裝幀	平裝
開本	16開	商品重量	0.4Kg

內容簡介

本書是MEMS設計的專著，主要介紹MEMS器件、係統和工藝的模型、模擬以及設計方法。在器件級設計中，介紹微傳感器和微執行器的工作原理，偏微分方程和耦閤偏微分方程的有限元網格劃分、算法及後處理方法；在係統級設計中介紹MEMS係統級建模方法，例如接點分析法、等效電路法、VHDL等；在MEMS工藝模型中，介紹主要加工方法如矽各嚮異性腐蝕、DRIE、UV-LIGA等工藝模型及相關算法（元胞自動機、綫算法等）。後介紹MEMS設計軟件結構、模塊以及使用方法和算例。

作者簡介

章 MEMS設計框架
1.1 科技問題的計算
1.2 MEMS建模層次和設計方法
1.2.1 MEMS建模與分析
1.2.2 MEMS可製造性設計
1.2.3 MEMS設計的發展
1.3 NEMS設計
1.4 本書框架
1.5 總結
參考文獻
第2章 MEMS器件級模型與模擬
2.1 基本方程
2.1.1 彈性力學方程
2.1.2 振動力學方程
2.1.3 流體力學方程
2.1.4 傳熱方程
2.1.5 電磁學方程
2.1.6 多場耦閤
2.2 求解條件
2.2.1 初始條件
2.2.2 邊界條件
2.2.3 連接條件
2.3 數值方法
2.3.1 有限差分法
2.3.2 有限元法
2.3.3 邊界元法
2.4 設計工具介紹
2.4.1 Ansys
2.4.2 Coventor
2.4.3 IntelliSuite
2.5 總結
參考文獻
第3章 MEMS器件宏模型與係統級設計
3.1 微機電係統構成及其分解
3.2 宏模型建模方法
3.2.1 解析法
3.2.2 等效電路法
3.2.3 節點分析法
3.2.4 模型降階法
3.3 常用MEMS器件宏模型
3.3.1 靜電執行器件模型
3.3.2 電熱器件模型
3.3.3 MEMS器件與封裝體耦閤模型
3.4 係統級設計工具介紹
3.4.1 Saber
3.4.2 Spice
3.4.3 Simulink
3.4.4 VHDL
3.5 總結
參考文獻
第4章 MEMS工藝級模型與模擬
4.1 集成電路製造工藝概述
4.1.1 集成電路芯片製造基本工藝
4.1.2 集成電路製造流程
4.1.3 光刻母版和掩模版
4.1.4 集成電路製造實例
4.2 MEMS製造工藝概述
4.2.1 矽錶麵微機械加工技術
4.2.2 矽體微機械加工技術
4.2.3 uGA與uV—IIGA技術
4.3 工藝模擬算法
4.3.1 綫算法
4.3.2 元胞自動機算法
4.3.3 水平集算法
4.3.4 快速推進算法
4.4 常用MEMS工藝的模型與模擬
4.4.1 矽各嚮異性腐蝕
4.4.2 深反應離子刻蝕
4.4.3 矽一矽直接鍵閤工藝模型和模擬
4.4.4 薄膜澱積、刻蝕模型與模擬
4.4.5 Su-8厚膠光刻
4.4.6 犧牲層腐蝕
4.5 MEMS工藝軟件包
4.5.1 Sentaurus Process
4.5.2 SEAES
4.5.3 Exposure
4.6 總結
參考文獻
第5章 NEMS設計基礎
5.1 NlEMS
5.1.1 NEMS特徵
5.1.2 NEMS實例
5.1.3 NEMS建模需要考慮的問題
5.2 統計力學基礎
5.2.1 分子動力學理論
5.2.2 分子速率與能量分布
5.2.3 熱漲落與噪聲
5.2.4 統計分布
5.2.5 玻耳茲曼方程
5.3 量子力學基礎
5.3.1 波函數與薛定諤方程
5.3.2 計算實例
5.3.3 量子阱、量子綫和量子點
5.3.4 wKB近似
5.3.5 Casimir效應
5.4 晶格動力學基礎
5.4.1 固體中的鍵及類型
5.4.2 晶格振動
5.4.3 固體熱容
5.4.4 固體熱膨脹
5.4.5 固體彈性
5.5 分子動力學模擬方法
5.5.1 拉格朗日運動方程和牛頓運動方程
5.5.2 力和勢能函數
5.5.3 周期性邊界條件和力場截斷
5.5.4 有限差分算法
5.5.5 係綜
5.5.6 宏觀物理量求解
5.6 典型NEMS結構與器件模型
5.6.1 納米矽尖場緻發射模型
5.6.2 納米矽膜力學特性的多尺度方法
5.6.3 納米矽懸臂梁吸附模型
5.6.4 納米矽膜壓阻模型
5.7 納米材料分析工具介紹
5.7.1 Materials Studio軟件功能模塊
5.7.2 設計實例
5.8 總結
參考文獻

編輯推薦

《微米納米技術叢書》叢書作者以總裝備部科技委相關專傢組為主體基於大量***的科技成果為背景內容體現我國該領域諸多突破性的進展吸收外同行專傢的智慧編寫而成充分體現我國在該技術領域的研究水平傳承該行業的技術知識指導以後的相關科技工作《RF MEMS器件設計、加工和應用》《微米納米器件測試技術》《聚閤物微納製造技術》《空間微係統與微納衛星》《MEMS傳感器接口ASIC集成技術》《微米納米器件封裝技術》《微型慣性器件及係統技術》《MEMS集成設計技術及應用》《微米納米器件設計》