齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品編碼：11489686
包裝：平裝
開本：16開
齣版時間：2014-03-01
頁數：966
具體描述
內容簡介
微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。前言/序言
用戶評價
評分
值得推薦的一本書，對工藝方麵覆蓋很廣
評分還沒看，專業書籍，慢慢研究。
評分質量不錯，充實的內容
評分速度很快，很滿意。書是好書
評分本來沒打算瞭解這麼詳細，不過618的優惠太好瞭，所以就買瞭
評分很滿意，物流沒的說
評分不錯的書。。。。。。。。。
評分不錯，專業書籍。
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