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MEMS材料與工藝手冊 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

圖書介紹

MEMS材料與工藝手冊
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林斌彥 著

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發表於2024-11-07

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齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品編碼：11489686
包裝：平裝
開本：16開
齣版時間：2014-03-01
頁數：966

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具體描述

內容簡介

微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

前言/序言


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用戶評價

評分☆☆☆☆☆

值得推薦的一本書，對工藝方麵覆蓋很廣

評分☆☆☆☆☆

包裝完整，快遞小哥送到傢的，還沒看

評分☆☆☆☆☆

不錯的一本書，值得看

評分☆☆☆☆☆

還不錯

評分☆☆☆☆☆

還不錯

評分☆☆☆☆☆

很好的一本書，內容充實全麵，值得專業技術人員參考

評分☆☆☆☆☆

東西不錯

評分☆☆☆☆☆

微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

評分☆☆☆☆☆

書看起來還不錯。專業書價格都比較貴。

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