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MEMS材料與工藝手冊

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林斌彥 著



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發表於2024-11-22


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齣版社: 東南大學齣版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品編碼:11489686
包裝:平裝
開本:16開
齣版時間:2014-03-01
頁數:966

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具體描述

內容簡介

微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

前言/序言


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用戶評價

評分

書很好是正版,物流也很快

評分

每本都包膜,不過外麵還是一個塑料袋,極易傷及圖書

評分

很滿意,物流沒的說

評分

mems材料工藝,科技書籍

評分

不錯,專業書籍。

評分

好厚啊,啃唄

評分

本來沒打算瞭解這麼詳細,不過618的優惠太好瞭,所以就買瞭

評分

不像是正版,哎,不過當專業書籍看看也無妨

評分

正版書,值得一看,快遞很給力!

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