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图书介绍

MEMS材料与工艺手册
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林斌彦 著

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发表于2024-11-07

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出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品编码：11489686
包装：平装
开本：16开
出版时间：2014-03-01
页数：966

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具体描述

内容简介

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

前言/序言


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用户评价

评分☆☆☆☆☆

有英文原版，写得很好。买一本翻译版对照学习

评分☆☆☆☆☆

工具书还是第一次买，内容很充实，参考价值还是有一些的。

评分☆☆☆☆☆

好

评分☆☆☆☆☆

不错

评分☆☆☆☆☆

看着很好

评分☆☆☆☆☆

好

评分☆☆☆☆☆

内容详尽，通俗易懂，有一定的参考价值

评分☆☆☆☆☆

值得推荐的一本书，对工艺方面覆盖很广

评分☆☆☆☆☆

很好的一本书，内容充实全面，值得专业技术人员参考

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