矽集成電路工藝基礎(第二版)

矽集成電路工藝基礎(第二版) pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

關旭東 著
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齣版社: 北京大學齣版社
ISBN:9787301241097
版次:2
商品編碼:11466314
包裝:平裝
叢書名: 21世紀微電子學專業規劃教材
開本:16開
齣版時間:2014-05-01
用紙:膠版紙
頁數:408

具體描述

編輯推薦

  《矽集成電路工藝基礎(第二版)》非常值得推薦。

內容簡介

   本書是《矽集成電路工藝基礎》的第二版教材,作者在第一版的基礎上係統的講述瞭矽集成電路製造的基礎工藝,加深瞭工藝物理基礎和基本原理的介紹。增加瞭工藝集成例子的介紹。

作者簡介

  關旭東,北京大學信息學院微電子係 職稱:教授 研究方嚮:矽集成電路的設計和規劃 主要作品:矽集成電路工藝基礎。

目錄

第一章 矽晶體和非晶體
第二章 氧化
第三章 擴散
第四章 離子注入
第五章 物理氣相澱積
第六章 化學氣相澱積
第七章 外延
第八章 光刻工藝
第九章 金屬化與多層互聯
第十章 工藝集成
第十一章 薄膜晶體管製造工藝

前言/序言







用戶評價

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很不錯很喜歡!好書值得我認真學習

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挺好

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書質量好,作為教材用

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