用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 pdf epub mobi txt 電子書下載 2025

圖書介紹

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英張，王曉浩，唐飛，王文弢著

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發表於2025-02-24

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店鋪：典則俊雅圖書專營店

齣版社：科學齣版社

ISBN：9787030268624

商品編碼：29793786099

包裝：平裝

齣版時間：2010-03-01

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用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 pdf epub mobi txt 電子書下載

具體描述

圖書基本信息,請以下列介紹為準
書名	用於惡劣環境的碳化矽微機電係統
作者	(英)張,王曉浩,唐飛,王文弢
定價	35.00元
ISBN號	9787030268624
齣版社	科學齣版社
齣版日期	203-01
版次	1

其他參考信息（以實物為準）
裝幀：平裝	開本：16開	重量：0.640
版次：1	字數：	頁碼：

插圖

目錄

內容提要

碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的一本係統論述碳化矽微機電係統的著作，作者是來自英、美從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者，他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀，匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。
　　《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀，也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。