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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 (英)张,王晓浩,唐飞,王文弢

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英张,王晓浩,唐飞,王文弢 著



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发表于2024-05-18

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店铺: 典则俊雅图书专营店
出版社: 科学出版社
ISBN:9787030268624
商品编码:29793786099
包装:平装
出版时间:2010-03-01

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具体描述

  图书基本信息,请以下列介绍为准
书名用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
作者(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢
定价35.00元
ISBN号9787030268624
出版社科学出版社
出版日期203-01
版次1

  其他参考信息(以实物为准)
装帧:平装开本:16开重量:0.640
版次:1字数:页码:
  插图

  目录

  内容提要
碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英、美从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。
  《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。

  编辑推荐

  作者介绍

  序言

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