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編輯推薦

　　“本書緣起於2008年底，是時本書作者剛離開奮鬥瞭5年的平闆顯示産業界並加入到上海交通大學電子工程係。在著手開展氧化物TFT相關科研工作的同時，我也決心在上海交通大學開設與薄膜晶體管技術相關的本科和研究生課程。”
　　董承遠現執教於上海交通大學電子工程係。主要研究方嚮為薄膜晶體管（TFT）工藝、器件與電路及其在平闆顯示(FPD)中的應用。2003年7月於上海交通大學獲工學博士學位。2003年至2008年先後在上海廣電NEC、昆山龍騰光電和上海天馬等國內幾傢主要平闆顯示製造企業從事與TFT相關的工藝開發、産品設計和新技術研發工作等。
　　本書填補瞭國內薄膜晶體管技術教材領域的空白。內容定位於講解和闡述與薄膜晶體管技術相關的基礎原理，包括材料物理、器件物理、工藝原理和實際應用原理等；讀者定位是大專院校的本科生和研究生以及平闆顯示産業界無相關基礎的工程師等。
　　本書作者結閤自身的教學實際經驗，在內容講解順序上另闢蹊徑，即按照從應用原理到器件物理再到工藝原理的順序闡述。具體而言，先從薄膜晶體管在平闆顯示的有源矩陣中的應用原理講起，並由此引齣實際應用對TFT器件特性的基本要求；接著便詳細闡述瞭薄膜晶體管相關的材料物理和器件物理，並由此確定瞭TFT工藝的技術目標，其中非晶矽/多晶矽禁帶缺陷態的産生機理和分布特點以及TFT器件的理論模型和特性參數提取方法等內容為著重闡述之處；第三部分，重點講解瞭薄膜晶體管陣列的單項工藝原理和工藝整閤原理，其中非晶矽TFT的5MASK工藝流程和多晶矽TFT的6MASK工藝流程正是當前産業界的主流技術。
　　雖然本書以非晶矽/多晶矽薄膜晶體管技術的相關原理作為主要闡述目標，作者結閤自身在産業界的實際工作經驗對TFT實際生産中的相關實務也多有涉及。此外，在本書的結尾處作者還根據自身的研究經驗對當前比較熱門的以a-IGZOTFT為代錶的非晶氧化物薄膜晶體管（AOSTFT）技術進行瞭簡單的總結和展望。

內容簡介

　　作為薄膜晶體管(TFT)技術的入門教材，本書以非晶矽薄膜晶體管（a Si TFT)和多晶矽薄膜晶體管(p Si TFT)為例詳細講解瞭與TFT技術相關的材料物理、器件物理和製備工藝原理及其在平闆顯示中的應用原理等。
　　本書共分7章。第1章簡單介紹瞭薄膜晶體管的發展簡史； 第2章詳細闡述瞭TFT在平闆顯示有源矩陣驅動中的應用原理； 第3章深入講解瞭薄膜晶體管相關的半導體、絕緣體和電極材料物理； 第4章詳細闡述瞭非晶矽TFT和多晶矽TFT器件物理的相關基礎知識； 第5章係統介紹瞭TFT製備的單項工藝原理； 第6章仔細講解瞭非晶矽TFT陣列和多晶矽TFT陣列工藝整閤原理； 第7章簡單總結全書並展望瞭以a�睮GZO TFT為代錶的非晶氧化物薄膜晶體管技術的發展趨勢。每章後附有習題，可供課堂練習或課後作業使用。
　　本書適閤於作為大學本科生和研究生相關課程的教材，也適閤針對從事TFT技術相關工作的工程技術人員作為技術培訓和在職進修的教材或參考書籍。

作者簡介

　　董承遠，現執教於上海交通大學電子工程係。主要研究方嚮為薄膜晶體管（TFT）工藝、器件與電路及其在平闆顯示(FPD)中的應用。2003年7月於上海交通大學獲工學博士學位。
　　作為上海光電NEC液晶顯示器有限公司早期工程師之一，曾赴日學習過TFT工藝技術，後來又參與瞭國內TFT-LCD生産綫的開創工作。2006年離開SVA-NEC後先後在昆山龍騰光電有限公司和上海天馬微電子有限公司從事過TFT-LCD産品設計和新技術開發的工作。值得一提的是，作者在上述這些平闆顯示公司工作時負責一些針對年輕工程師的技術培訓工作。
　　從2009年至今，作者先後在上海交通大學電子工程係開設瞭《顯示電子學》（研究生選修課）、《薄膜晶體管原理及應用》（本科生必修課）和《薄膜晶體管技術》（工程碩士必修課）等幾門與TFT技術相關的課程。

目錄

第1章緒論
1.1薄膜晶體管發展簡史
1.2薄膜晶體管的技術分類及比較
1.3薄膜晶體管的應用簡介
1.4本書的主要內容及架構
習題
參考文獻
第2章平闆顯示的有源矩陣驅動
2.1平闆顯示簡介
2.1.1顯示技術的分類及特性指標
2.1.2平闆顯示的定義和分類
2.1.3液晶顯示器件的基本原理
2.1.4有機發光二極管顯示的基本原理
2.2液晶顯示的有源矩陣驅動
2.2.1液晶顯示的靜態驅動和無源矩陣驅動簡介
2.2.2AMLCD像素電路的充放電原理
2.2.3AMLCD像素陣列的相關原理
2.2.4液晶顯示有源矩陣驅動的特殊方法
2.2.5液晶顯示有源矩陣驅動的技術要求
2.3有機發光二極管顯示的有源矩陣驅動
2.3.1有機發光二極管顯示的無源矩陣驅動簡介
2.3.2有機發光二極管顯示的有源矩陣驅動基本原理
2.3.3有機發光二極管有源矩陣驅動的技術要求
2.4本章小結
習題
參考文獻
第3章薄膜晶體管材料物理
3.1非晶矽材料物理
3.1.1非晶體簡介
3.1.2非晶矽材料結構
3.1.3非晶矽電學特性
3.2多晶矽材料物理
3.2.1多晶體簡介
3.2.2多晶矽材料結構
3.2.3多晶矽電學特性
3.3薄膜晶體管絕緣層材料
3.3.1絕緣層介電特性
3.3.2絕緣層漏電特性
3.3.3氮化矽薄膜
3.3.4氧化矽薄膜
3.4薄膜晶體管電...

前言/序言

薄膜晶體管原理及應用/高等學校電子信息類專業係列教材
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