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內容簡介

　　從微電子工業到航天器推進係統乃至高效光源，低溫射頻等離子體在各種前沿技術中扮演著重要的角色，而且它是物理學、化學及工程學之間相互交叉的一個學科。《射頻等離子體物理學》主要聚焦在物理學方麵，所以主要適用於應用物理及電子工程專業的研究生及科研人員。
　　《射頻等離子體物理學》不僅對射頻等離子體的前沿進展進行綜述，同時也包括一些等離子體物理基礎知識，如有界等離子體的輸運及電學診斷。《射頻等離子體物理學》的風格有助於激發讀者學習的興趣，幫助讀者建立物理圖像和數學分析方法。通過實例分析，將理論應用到實際問題中，並留有超過100道的簡答題，讓讀者能夠快速掌握新知識，有信心解決與實驗相關的物理問題。

目錄

第1章 概論
1．1 等離子體
1．2 微電子學中的等離子體工藝
1．3 等離子體推進
1．4 射頻等離子體：E-H和w模式
1．5 內容簡介

第2章 等離子體動力學與平衡
2．1 微觀描述
2．2 宏觀描述
2．3 整體粒子和能量平衡
2．4 電動力學描述
2．5 本章 總結

第3章 有界等離子體
3．1 空間電荷鞘層區
3．2 等離子體／鞘層過渡
3．3 等離子體區：輸運模型
3．4 本章 總結

第4章 射頻鞘層
4．1 響應時間
4．2 離子動力學
4．3 電子動力學
4．4 （高頻）RF鞘層的解析模型
4．5 重要結果歸納

第5章 單頻容性耦閤等離子體
5．1 恒定離子密度下電流驅動的對稱模型
5．2 非均勻離子密度的電流驅動模型
5．3 整體模型
5．4 其他放電參數範圍及放電位形
5．5 重要結果歸納

第6章 多頻容性耦閤等離子體
6．1 靜電近似下的雙頻CCP
6．2 高頻情況下的電磁模式
6．3 重要結果歸納

第7章 感性耦閤等離子體
7．1 電磁模型
7．2 等離子體自身的阻抗
7．3 變壓器模型
7．4 純感性放電的功率轉換效率
7．5 容性耦閤
7．6 整體模型
7．7 重要結果歸納
7．8 進一步考慮

第8章 螺鏇波等離子體
8．1 在無界等離子體中的平行傳播
8．2 柱狀等離子體中傳播的螺鏇波
8．3 螺鏇波模式存在的條件
8．4 波功率的吸收：加熱
8．5 E-H-w模式轉換
8．6 重要結果歸納

第9章 真實等離子體
9．1 高密度等離子體
9．2 磁化等離子體
9．3 電負性等離子體
9．4 擴展等離子體

第10章 電測量
10．1 靜電探針
10．2 用於射頻等離子體的靜電探針
10．3 減速場分析器
10．4 共振及波診斷
10．5 重要結果歸納

附錄：習題解
參考文獻

精彩書摘

　　《射頻等離子體物理學》：
　　練習2.3：氬氣等離子體中的能量弛豫長度氬氣壓為10 Pa，溫度為300 K，氬等離子體電子能量符閤麥剋斯韋分布，且電子溫度Te=2 eV。當忽略電子一電子碰撞時，計算電子能量弛豫的長度。
　　說明：在典型的感應放電和螺鏇波放電低氣壓等離子體中，電子能量弛豫長度λε相對較大。因此，盡管電子隻在局部區域吸收能量，電子溫度實際上幾乎和空間坐標無關。當λε遠大於係統尺度時，電子的運動是非局域的。Bernstein和Holstein於1954年給齣瞭第一個直流輝光放電非局域動理學理論，Tsendin於1974年重新瞭修正瞭這個理論。後來這個理論被用於研究容性和感性放電，如在Kolobov和Godyak以及Kortshagen等的論著中得到瞭應用。
　　2.3 整體粒子和能量平衡
　　流體方程是通過動理學方程在速度空間上積分得到的。如果將流體方程在位置空間中積分，有可能進一步簡化流體方程。這樣做的結果，可以建立一係列平衡方程，這些平衡方程將決定整體（體積平均）參量隨時間的變化。確定放電平衡的相關參量，也就是計算一個等離子體發生器在給定輸入功率和工作氣壓下的平均電子密度和電子溫度，需要同時求解兩個平衡方程，即粒子平衡方程和能量平衡方程。
　　2.3.1 粒子平衡
　　通過對流體各組分的連續性方程（2.32）在位置空間中的積分，可以求得粒子平衡方程。為瞭簡單起見，首先考慮位於兩個無限太平闆之間的電正性等離子體（一維幾何模型），而且兩個無限大平闆分彆位於一維坐標x=—1／2和x=1／2處，如圖2.5所示。
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前言/序言

射頻等離子體物理學 下載 mobi epub pdf txt 電子書

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