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内容简介

　　从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源，低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色，而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。《射频等离子体物理学》主要聚焦在物理学方面，所以主要适用于应用物理及电子工程专业的研究生及科研人员。
　　《射频等离子体物理学》不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述，同时也包括一些等离子体物理基础知识，如有界等离子体的输运及电学诊断。《射频等离子体物理学》的风格有助于激发读者学习的兴趣，帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实例分析，将理论应用到实际问题中，并留有超过100道的简答题，让读者能够快速掌握新知识，有信心解决与实验相关的物理问题。

目录

第1章 概论
1．1 等离子体
1．2 微电子学中的等离子体工艺
1．3 等离子体推进
1．4 射频等离子体：E-H和w模式
1．5 内容简介

第2章 等离子体动力学与平衡
2．1 微观描述
2．2 宏观描述
2．3 整体粒子和能量平衡
2．4 电动力学描述
2．5 本章 总结

第3章 有界等离子体
3．1 空间电荷鞘层区
3．2 等离子体／鞘层过渡
3．3 等离子体区：输运模型
3．4 本章 总结

第4章 射频鞘层
4．1 响应时间
4．2 离子动力学
4．3 电子动力学
4．4 （高频）RF鞘层的解析模型
4．5 重要结果归纳

第5章 单频容性耦合等离子体
5．1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型
5．2 非均匀离子密度的电流驱动模型
5．3 整体模型
5．4 其他放电参数范围及放电位形
5．5 重要结果归纳

第6章 多频容性耦合等离子体
6．1 静电近似下的双频CCP
6．2 高频情况下的电磁模式
6．3 重要结果归纳

第7章 感性耦合等离子体
7．1 电磁模型
7．2 等离子体自身的阻抗
7．3 变压器模型
7．4 纯感性放电的功率转换效率
7．5 容性耦合
7．6 整体模型
7．7 重要结果归纳
7．8 进一步考虑

第8章 螺旋波等离子体
8．1 在无界等离子体中的平行传播
8．2 柱状等离子体中传播的螺旋波
8．3 螺旋波模式存在的条件
8．4 波功率的吸收：加热
8．5 E-H-w模式转换
8．6 重要结果归纳

第9章 真实等离子体
9．1 高密度等离子体
9．2 磁化等离子体
9．3 电负性等离子体
9．4 扩展等离子体

第10章 电测量
10．1 静电探针
10．2 用于射频等离子体的静电探针
10．3 减速场分析器
10．4 共振及波诊断
10．5 重要结果归纳

附录：习题解
参考文献

精彩书摘

　　《射频等离子体物理学》：
　　练习2.3：氩气等离子体中的能量弛豫长度氩气压为10 Pa，温度为300 K，氩等离子体电子能量符合麦克斯韦分布，且电子温度Te=2 eV。当忽略电子一电子碰撞时，计算电子能量弛豫的长度。
　　说明：在典型的感应放电和螺旋波放电低气压等离子体中，电子能量弛豫长度λε相对较大。因此，尽管电子只在局部区域吸收能量，电子温度实际上几乎和空间坐标无关。当λε远大于系统尺度时，电子的运动是非局域的。Bernstein和Holstein于1954年给出了第一个直流辉光放电非局域动理学理论，Tsendin于1974年重新了修正了这个理论。后来这个理论被用于研究容性和感性放电，如在Kolobov和Godyak以及Kortshagen等的论著中得到了应用。
　　2.3 整体粒子和能量平衡
　　流体方程是通过动理学方程在速度空间上积分得到的。如果将流体方程在位置空间中积分，有可能进一步简化流体方程。这样做的结果，可以建立一系列平衡方程，这些平衡方程将决定整体（体积平均）参量随时间的变化。确定放电平衡的相关参量，也就是计算一个等离子体发生器在给定输入功率和工作气压下的平均电子密度和电子温度，需要同时求解两个平衡方程，即粒子平衡方程和能量平衡方程。
　　2.3.1 粒子平衡
　　通过对流体各组分的连续性方程（2.32）在位置空间中的积分，可以求得粒子平衡方程。为了简单起见，首先考虑位于两个无限太平板之间的电正性等离子体（一维几何模型），而且两个无限大平板分别位于一维坐标x=—1／2和x=1／2处，如图2.5所示。
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前言/序言

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