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出版社： 机械工业出版社
ISBN：9787111209171
商品编码：29898660669
包装：平装
出版时间：2007-03-01
具体描述
基本信息
书名：微机电系统集成与封装技术基础
定价：29.00元
作者：娄文忠,孙运强著
出版社：机械工业出版社
出版日期：2007-03-01
ISBN：9787111209171
字数：
页码：
版次：1
装帧：平装
开本：
商品重量：0.400kg
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内容提要
本书主要介绍微机电系统集成与封装技术。全书包括三个部分，分别为：微机电系统集成技术基础、微机电系统封装技术基础、微机电系统集成与封装的应用。书中系统地叙述了微机电系统集成设计与封装技术的概念、体系结构、典型系统、所用的先进技术以及未来的发展趋势；书中对近年来国外微机电系统集成与封装*技术动态加以归纳总结，对相关理论、技术进行深刻的阐述与分析。并以大量、详实的案例，在完整的微机电系统集成与封装知识体系下，面向应用，服务社会。
本书可供微电子、微电系统等领域专业研究以及机械、物理和材料方面研究人员参考，亦可作为相关专业高年级本科生、研究生教材。
目录
作者介绍
文摘
序言
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