店鋪： 花晨月夕圖書專營店
齣版社： 科學齣版社
ISBN：9787030268624
商品編碼：29876089977
包裝：平裝
齣版時間：2010-03-01
具體描述
基本信息
書名：用於惡劣環境的碳化矽微機電係統
定價：35元
作者：(英)張,王曉浩,唐飛,王文弢
齣版社：科學齣版社
齣版日期：2010-03-01
ISBN：9787030268624
字數：154000
頁碼：121
版次：1
裝幀：平裝
開本：16開
商品重量：0.640kg
編輯推薦
內容提要
碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的一本係統論述碳化矽微機電係統的著作，作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者，他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀，匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。
《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀，也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。
目錄
作者介紹
文摘
序言
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