店铺： 天乐图书专营店
出版社： 科学出版社
ISBN：9787030268624
商品编码：29467163231
包装：平装
出版时间：2010-03-01
具体描述
基本信息
书名：用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
定价：35.00元
作者：(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢
出版社：科学出版社
出版日期：2010-03-01
ISBN：9787030268624
字数：
页码：
版次：1
装帧：平装
开本：16开
商品重量：0.640kg
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内容提要
碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。
目录
作者介绍
文摘
序言
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