微機電係統(MEMS)製造技術

微機電係統(MEMS)製造技術 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

苑偉政,喬大勇 著
圖書標籤:
  • MEMS
  • 微機電係統
  • 製造技術
  • 傳感器
  • 微納技術
  • 集成電路
  • 材料科學
  • 工藝流程
  • MEMS器件
  • 微加工
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齣版社: 科學齣版社
ISBN:9787030399748
版次:31
商品編碼:12136119
包裝:精裝
叢書名: 納米製造的基礎研究學術著作叢書
開本:32開
齣版時間:2017-07-01
頁數:256
正文語種:中文

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