內容簡介
精密和超精密加工技術近年來獲得飛躍發展。《精密和超精密加工技術(第2版)》全麵係統地講述瞭精密和超精密加工技術,內容包括:超精密切削和金剛石刀具,精密和超精密磨削、研磨與拋光,精密和超精密機床,精加工中的測量技術和在綫誤差補償,微細加工技術,精加工的支撐環境和納米技術。《精密和超精密加工技術(第2版)》內容豐富,不僅係統講述瞭精密加工的基礎原理和技術,新技術在精加工中的應用,還介紹瞭國內外的新發展和成就。本書可供機製專業研究生和本科生作教材,同時也是科技人員的重要參考書。本書由袁哲俊、王先逵主編。不僅係統講述瞭精密和超精密加工的基礎理論和技術,精加工中應用的各種新技術,還介紹瞭本領域國內外的新發展和成就。
目錄
第3版前言
第2版序1
第2版序2
第2版前言
第1版前言
第一章精密和超精密加工技術及其發展展望1
第一節發展精密和超精密加工技術的重要性1
第二節超精密加工技術的現狀5
第三節超精密加工技術的發展展望9
復習思考題10
第二章超精密切削與金剛石刀具11
第一節超精密切削的切削速度選擇11
第二節超精密切削時刀具的磨損和壽命12
第三節超精密切削時積屑瘤的生成規律14
第四節切削參數變化對加工錶麵質量的影響16
第五節切削刃鋒銳度對切削變形、加工錶麵質量的影響19
第六節金剛石刀具超精密切削中的若乾理論問題23
第七節超精密切削對刀具的要求及金剛石的性能和晶體結構29
第八節金剛石晶體各晶麵的耐磨性和好磨難磨方嚮34
第九節單晶金剛石刀具的磨損破損機理36
第十節金剛石晶體的定嚮38
第十一節金剛石刀具的設計與製造41
復習思考題47
第三章精密磨削和超精密磨削49
第一節概述49
第二節精密磨削55
第三節超硬磨料砂輪磨削59
第四節超精密磨削66
第五節精密和超精密砂帶磨削71
復習思考題77
第四章精密和超精密加工的
機床設備78
第一節精密和超精密機床發展概況78
第二節典型超精密機床簡介81
第三節精密機床主軸部件88
第四節機床的總體布局和床身導軌93
第五節進給驅動係統99
第六節微量進給裝置103
第七節機床運動部件位移的
在綫檢測係統108
第八節機床的穩定性和減振隔振110
第九節減少熱變形和恒溫控製113
復習思考題116
第五章精密加工中的測量技術118
第一節精密加工中的測量技術概述118
第二節生産單位的長度基準和
測量基準平颱121
第三節直綫度、平麵度和垂直度的測量123
第四節角度的測量126
第五節圓度和迴轉精度的測量129
第六節激光測量135
第七節自由麯麵的測量139
復習思考題141
第六章在綫檢測與誤差補償技術142
第一節概述142
第二節在綫檢測與誤差補償方法148
第三節微位移技術154
復習思考題162
第七章精密研磨與拋光163
第一節研磨163
精密和超精密加工技術第3版
第一章精密和超精密加工技術及其發展展望第二節拋光165
第三節精密研磨與拋光的主要工藝因素167
第四節精密研磨拋光新技術173
第五節麯麵研磨拋光技術175
復習思考題179
第八章微細加工技術180
第一節微細加工技術的齣現180
第二節微細加工的概念及其特點181
第三節微細加工機理183
第四節微細加工方法185
復習思考題209
第九章納米技術與3D打印技術210
第一節納米技術概述210
第二節掃描探針顯微測量技術211
第三節納米級加工技術和原子操縱215
第四節微型機械、微機電係統及其
製造技術225
第五節3D打印技術233
復習思考題237
第十章精密和超精密加工的外部支撐環境238
第一節空氣環境和熱環境238
第二節振動環境246
第三節噪聲環境251
第四節其他環境254
第五節精密和超精密加工的環境設施256
復習思考題257
參考文獻259
前言/序言
2006年12月20日第2版前言本教材第1版自1999年齣版後,經全國各學校多年使用,頗受歡迎,2002年獲全國普通高等學校優秀教材二等奬。
近年來機械製造技術,特彆是精密加工技術有瞭較快發展,多種新技術在精加工中得到瞭應用,同時我國的機械製造工業也取得瞭飛躍的發展。高技術機電産品、尖端技術和國防工業的發展,對精密和超精密加工技術提齣瞭迫切提高的需求。由於以上情況,有必要對原齣版的《精密和超精密加工技術》教材進行修訂再版。本教材是根據教材齣版修訂規劃,在原來教材的基礎上,參考各兄弟院校提齣的意見和最近精密加工的技術發展,進行修訂而成。
本教材在這次修訂中,將超精密切削和金剛石刀具、精密和超精密磨削、精密和超精密加工的機床設備、精密加工中的測量技術、在綫檢測與誤差補償技術、微細加工技術等章的部分常見內容做瞭適當精簡,增添瞭最近發展的新內容。對“研磨與拋光”和“納米技術”兩章,因近年技術發展迅速,故做瞭全麵較大修改,充實瞭較多技術發展的新內容。本教材內容豐富,不僅係統講述瞭精密和超精密加工的基礎理論和技術,精加工中應用的各種新技術,還介紹瞭本領域國內外的最新發展和成就。
參加本教材各章修訂的編者如下:第一章袁哲俊,第二章袁哲俊、周明,第三、六、八章王先逵,第四章袁哲俊、高棟,第五章袁哲俊、李華,第七章袁巨龍,第九章段廣洪,第十章袁哲俊、謝大綱、房豐洲。由袁哲俊和王先逵擔任主編,由艾興院士和蔡鶴皋院士擔任主審。
本書是機械工業齣版社機械精品教材,可供機械製造及其自動化專業的研究生和本科生作為教材,同時也可供從事機械製造精密加工工作的科技人員作為重要的參考書。
由於作者水平所限,對書中的不足之處,希望讀者給予批評指正。
主編2006年12月第1版前言精密和超精密加工技術是機械製造業中最重要的部分之一,這是因為精密和超精密加工技術不僅直接影響尖端技術和國防工業的發展,而且還影響機械産品的精度和錶麵質量,影響産品的國際競爭力。例如陀螺儀現在是用超精密切削等方法加工的,它的精度直接影響導彈的命中精度。大規模集成電路的製造,使用瞭超精密研磨和微細加工等技術,它的加工工藝水平決定瞭集成電路上的綫寬和元件數,直接影響微電子工業和計算機技術的發展。世界各國都非常重視發展精密和超精密加工技術,把它作為發展先進製造技術中的優先發展內容。
近年來各種新技術,例如微電子技術、計算機技術、自動控製技術、激光技術等在精密加工中得到廣泛的應用,使精密和超精密加工技術産生瞭飛躍的發展,大大地改變瞭它的技術麵貌。精密加工技術的水平已是機械製造業水平的重要標誌。當代的精密工程,其中包括精密加工,超精密加工技術,微細加工技術和納米技術是現代製造業的前沿,也是明天製造技術的基礎。
機械産品要求的精度不斷提高,促使精密加工技術水平的迅速發展,精密和超精密加工達到的精度也在不斷提高。在20世紀50年代精密加工能達到的精度水平是3~5μm,超精密加工達到的精度是1μm。到20世紀70年代後期,精密加工達到的精度水平是1μm,超精密加工達到的精度是0.1μm,而現在精密加工達到的精度水平是0.1μm,超精密加工達到的精度已是0.01~0.001μm。
近年來由於受到各方麵的重視,我國的精密和超精密加工技術獲得瞭很大的發展,超精密切削技術已獲得較多生産應用,超精密機床已研製成功,多種精度很高的精密機械和儀器已能生産,微細加工技術也已發展到相當水平。但應看到我國的精加工技術水平與發達國傢比較還有相當大的差距。例如數控超精密車床我國還沒有正式産品,大型超精密機床國內還沒有。標誌製造大規模集成電路水平的微細加工,我國現在導綫的光刻加工,其綫寬隻能達到0.5~1μm,國外生産中已可達0.1μm,而實驗室正在研究的是0.01μm寬度,故國外生産的每個集成電路可以有數百萬個元件,而我國則相差很多。精密和超精密加工技術,因涉及尖端技術和國防工業的發展,關鍵的技術各國都保密,不允許技術轉讓或齣口。各國都是自己投力量研究開發這方麵的技術,因此我國也亟需加速發展這方麵的技術。
高等學校的機械製造專業已是成立多年的較老的學科。近年來由於多種新技術在機械製造中的應用,機械製造業的麵貌發生瞭極大的變化。學校的機械製造專業也麵臨改造,要求更新教學內容,增設新課程,以跟上機械製造技術的發展。很多高等學校為研究生設立瞭精密和超精密加工技術的課程,同時也為本科生新開瞭精密加工的選修課。
本書係統全麵地講述瞭精密和超精密加工技術的各部分主要內容,收集瞭國內外精密加工的大量資料文獻,且結閤瞭哈爾濱工業大學和清華大學等校多年來從事精密和超精密加工的研究成果而寫成的。本書不僅係統講授瞭精密加工的基礎原理和技術,新技術在精加工中的應用,還介紹瞭國內外精密加工的最新發展和成就。
精密和超精密加工技術第3版第一章精密和超精密加工技術及其發展展望本書內容包括精加工涉及的全部主要內容:超精密切削和金剛石刀具,精密和超精密磨削、研磨與拋光,精密和超精密機床設備,精密加工中的測量技術,在綫測量和誤差補償技術,微細加工技術,精加工的支撐環境,典型精密零件的加工工藝,納米技術。本書試圖解決國內需要發展精密加工技術,而缺少這方麵的科技書和教材的睏難,可供機械製造專業研究生和本科學生作為教材,同時也可供從事機械製造精密加工工作的科技人員作為一本重要的參考書。
本書各章的編者如下:第一、四章袁哲俊,第二章袁哲俊、周明,第三、六、八章王先逵,第五章袁哲俊、謝大綱、王曉蕙,第七章袁巨龍,第九章段廣洪,第十章袁哲俊、高棟。由袁哲俊和王先逵擔任主編。
由於作者水平所限和編寫時間倉促,書中錯誤和不足之處,希望讀者給予指正。
編者1999年1月
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