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MOS集成電路工藝與製造技術

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潘桂忠 編



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發表於2024-11-23


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齣版社: 上海科學技術齣版社
ISBN:9787547809808
版次:1
商品編碼:11003031
包裝:平裝
齣版時間:2012-07-01
頁數:252

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具體描述

內容簡介

《MOS集成電路工藝與製造技術》全麵介紹瞭MOS集成電路工藝和製造技術。內容包括:矽晶圓襯底,氧化,擴散,離子注入,外延,化學汽相澱積,光刻,付蝕與刻蝕等,PNOS,NMOS,CMOS,LV HV兼容CMOS等製造工藝。

前言/序言


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