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MOS集成电路工艺与制造技术

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潘桂忠 编



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发表于2024-11-05

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出版社: 上海科学技术出版社
ISBN:9787547809808
版次:1
商品编码:11003031
包装:平装
出版时间:2012-07-01
页数:252

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具体描述

内容简介

《MOS集成电路工艺与制造技术》全面介绍了MOS集成电路工艺和制造技术。内容包括:硅晶圆衬底,氧化,扩散,离子注入,外延,化学汽相淀积,光刻,付蚀与刻蚀等,PNOS,NMOS,CMOS,LV HV兼容CMOS等制造工艺。

前言/序言


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