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編輯推薦

　　潔淨室（區）的日常運行和維護管理是保障其受控狀態持續的重要條件。因此，國內外相關的標準、規範和指南中對運行和維護管理製定瞭各種基本模式與要求，提供瞭一係列可參照的章程和方法，為潔淨室（區）的管理建立瞭依據。 本書結閤國內外新標準及作者的經驗對潔淨室檢測的目的、要求與方法、適用的儀器、使用要點及檢測報告，對潔淨室維護與管理等方麵都作瞭較為詳盡的論述，除此之外，還歸納整理瞭相關的檢測儀器、儀錶的功能、檢測的方法、步驟以及測量的數據與規範化的檢測報告。

內容簡介

　　本書內容分為上下兩篇，上篇（第1～6章）主要討論潔淨室的檢測，下篇（第7一11章）主要介紹潔淨室的運行與管理。
　　上篇主要介紹瞭相關的檢測儀器、儀錶的功能，檢測的方法、步驟以及測量數據的歸納整理與監測報告的規範化。下篇主要根據作者幾十年潔淨室的設計、建設與運行管理的經驗，參考國內外先進的潔淨室管理理念，詳細介紹瞭潔淨室在日常管理與運行中的問題。主要包括潔淨室製度與紀律的建立、進齣潔淨室的材料、設備的規定、潔淨服裝的選擇以及潔淨室日常清潔工作等。最後，本書匯編瞭ISO 14644係列、ISO 14698係列標準術語和定義。
　　本書結閤國內外新標準及作者的經驗對潔淨室檢測的目的、要求與方法、適用的儀器、使用要點及檢測報告，對潔淨室維護與管理等方麵都作瞭較為詳盡的論述，是一本可讀性高、實用性強的好書。
　　本書可用作大專院校選修課教材：本書的上篇可供相關研究機構、檢測驗證機構作為員工培訓參考資料，下篇可作為潔淨室管理人員、運行人員、生産人員的培訓教材，也可作為製定潔淨室相關管理製度、章程的參考資料。

目錄

第1章 潔淨室的檢測類彆與項目
1.1 潔淨室檢測的類彆
1.2 潔淨室的竣工驗收
1.2.1 竣工驗收的外觀檢查
1.2.2 竣工驗收的調試工作
1.2.3 竣工驗收的檢測項目
1.2.4 竣工驗收所需文件
1.3 潔淨室綜閤性能評價
1.3.1 ISO-14644 所規定的檢測項目
1.3.2 NEBB所規定的檢測項目
1.3.3 國內相關標準所規定的測試項目
1.4 潔淨室的性能監測
1.4.1 國際標準 ISO 14644-2的規定
1.4.2 國傢標準 GB 50073-2001關於監測的規定
1.5 潔淨室測試時所處的狀態
復習思考題

第2章 空氣中懸浮粒子的測試
2.1 測試的準備工作
2.2 采樣點的位置及數量
2.3 各采樣點的單次采樣量
2.4 空氣中懸浮粒子濃度的采樣及數據整理
2.4.1 空氣中懸浮粒子濃度的統計計算原則
2.4.2 一個采樣點平均數字濃度（Xi）的計算方法
2.4.3 95％置信上限的計算方法
2.5 潔淨度級彆的計算例題
2.5.1 例題1
2.5.2 例題2
2.6 空氣中懸浮粒子的一些特殊檢測方法
2.6.1 順序采樣法
2.6.2 空氣中懸浮超微粒子和宏粒子計數
附錄1 ISO 14644 潔淨度及潔淨區按所定懸浮粒子的潔淨度分級
附錄2 ISO 14644 潔淨度分級的粒子濃度限值圖
附錄3 國傢標準GB 50073-2001 潔淨室及潔淨區空氣中懸浮粒子潔淨度等級
復習思考題

第3章 潔淨室、潔淨區的氣流、壓差與檢漏測試
3.1 氣流測試
3.1.1 單嚮流潔淨室或設施的風速測定
3.1.2 用風罩法測定非單嚮流潔淨室或設施的風量
3.1.3 非單嚮流潔淨室的其他風量測定方法
3.1.4 風速、風量測試評定標準
3.1.5 單嚮流風速測定例題
3.2 壓差測試
3.3 高效過濾器檢漏
3.3.1 當高效過濾器安裝在頂棚、牆上或設備上時的檢漏測試
3.3.2 高效過濾器安裝在管道或空氣處理機上時過濾器的整體檢漏
3.3.3 檢漏測試報告
3.4 氣流目檢
3.4.1 氣流目檢的方法
3.4.2 氣流目檢的操作
3.4.3 關於氣流流型的測點布置
3.4.4 測試報告
3.5 溫度與濕度測試
3.5.1 一般溫、濕度測試
3.5.2 綜閤溫、濕度測試
3.5.3 測試報告
3.6 自淨性能測試
3.6.1 自淨性能或自淨時間的定義
3.6.2 用粒子濃度變化率評估自淨性能
3.6.3 直接測量自淨時間
3.6.4 測試報告
3.7 汙染滲漏測試
3.7.1 使用離散粒子計數器測試汙染滲漏
3.7.2 使用氣溶膠光度計測試汙染滲漏
3.7.3 測試報告
3.8 粒子沉積測試
3.8.1 測量采樣闆上沉積粒子的獲取方法
3.8.2 測量采樣闆上沉積粒子的計數和粒徑確定
3.8.3 測量采樣闆材料與測試儀器
3.8.4 測試報告
3.9 潔淨室的噪聲、微振與照度的測試
3.9.1 相關的標準與規定
3.9.2 噪聲、微振與照度的檢測
3.10 靜電測試
3.10.1 相關的規範規定
3.10.2 靜電測試方法
復習思考題

第4章 檢測儀器、儀錶與方法
4.1 光散射離散粒子計數器
4.1.1 用於現場檢測的便攜式激光粒子計數器
4.1.2 用於潔淨環境實時監控的激光粒子計數器及相關設備
4.1.3 凝聚核粒子計數器
4.2 氣流測試儀錶
4.2.1 風速測量儀錶
4.2.2 壓差測定常用儀錶
4.2.3 氣流目測的儀器
4.3 高效空氣過濾器安裝後的檢漏
4.3.1 檢漏測試所用的氣溶膠
4.3.2 檢漏測試所用的設備
4.4 溫、濕度、照度、噪聲等參數的測量
4.4.1 溫度測量儀錶
4.4.2 濕度測量儀錶
4.4.3 照度與噪聲測試儀錶
4.5 靜電和離子生成器測試儀錶
4.6 ISO 14644 關於潔淨設施測試的順序與儀器
復習思考題

第5章 生物汙染控製與微生物檢測
5.1 微生物汙染控製的手段與方法
5.2 生物汙染控製原則
5.2.1 微生物危害評價與控製體係的內容
5.2.2 生物汙染監測
5.3 生物汙染的檢測采樣
5.3.1 生物汙染的檢測采樣儀器的選擇原則
5.3.2 采樣計劃的製定
5.4 生物汙染數據的評價
5.4.1 初始檢測階段對生物汙染數據的評估
5.4.2 日常監測階段所得生物汙染數據的估算與評價
5.4.3 沉降測值與浮遊測值的關聯
5.5 傳統的微生物采樣計數設備
5.5.1 沉降法采樣裝置
5.5.2 撞擊法空氣微生物采樣器
5.5.3 碰撞式采樣法
5.5.4 過濾法
5.5.5 大容量法
5.5.6 錶麵微生物的測試方法
5.6 環境微生物的快速測定法
5.6.1 目前使用的幾種微生物快速測定法
復習思考題

第6章 潔淨室性能測試報告的實例
6.1 檢測報告的基本內容
6.2 檢測報告的目錄及實例

第7章 潔淨室汙染控製分析與策略
7.1 查清潔淨室汙染源與傳播途徑
7.1.1 汙染源
7.1.2 汙染傳播的途徑
7.1.3 汙染風險分析和控製措施圖
7.2 危害性分析
7.3 製定危害控製與監測方法
7.3.1 製定危害控製的方法
7.3.2 監測采樣與控製方法
7.3.3 製定報警值和行動值
復習思考題

第8章 潔淨室的製度與紀律
8.1 嚴格控製進入潔淨室的人員
8.1.1 對潔淨室工作人員的基本要求
8.1.2 對潔淨室維修人員和服務人員的基本要求
8.2 潔淨室內需遵守的紀律
8.2.1 防止沿通道逆嚮氣流增加汙染
8.2.2 防止工作人員在潔淨室內的不當動作增加汙染
8.2.3 防止潔淨室內材料使用不當而增加汙染
8.3 潔淨室工作人員的教育培訓
8.3.1 參與培訓的人員
8.3.2 培訓課程的內容
8.3.3 對潔淨室人員行為的監控
8.4 潔淨室工作製度與紀律示例
天津某知名閤資電子企業潔淨室工作守則（試用版）
復習思考題

第9章 人員進齣潔淨室與潔淨服裝
9.1 人員進入潔淨室的清潔流程
9.1.1 到達潔淨室前
9.1.2 更換潔淨服
9.1.3 離開潔淨室的更衣程序
9.2 潔淨服
9.2.1 人員散發的汙染物來源與傳播途徑
9.2.2 潔淨服的設計與製作
9.2.3 潔淨室服裝的處理與更換
9.2.4 潔淨服測試
9.3 潔淨室用麵罩、頭盔、手套
9.3.1 潔淨麵罩與頭盔
9.3.2 潔淨室手套
9.4 動力排風式頭盔
復習思考題

第10章 進入潔淨室的材料、設備和機器
10.1 潔淨室用材的選擇
10.2 外部供應的物品及其包裝
10.3 通過氣閘室傳遞物品和小件設備
10.4 潔淨室固定設備的進入、安裝與維修
復習思考題

第11章 潔淨室的日常清潔工作
11.1 潔淨室日常清潔的必要性
11.2 錶麵物理清潔方法
11.3 潔淨室用清潔用具及操作方法
11.4 潔淨室清潔用液體
11.5 清潔錶麵和清潔級彆的分類
11.6 潔淨室日常清潔方法
11.7 清潔工作的計劃與安排
復習思考題
附錄 ISO 14644 係列、ISO 14698係列標準術語和定義匯編
附錄一 按 ISO 14644，ISO 14698 係列標準的序號，匯集各標準的“術語與定義”
附錄二 ISO 14644，ISO 14698 係列標準按漢語拼音排序的“術語與定義”
附錄三 ISO 14644，ISO 1698 係列標準按英文字母排序的“術語與定義”
參考文獻

精彩書摘

　　第1章 潔淨室的檢測類彆與項目
　　1.2　潔淨室的竣工驗收
　　通常由建設方牽頭，承包商、工程監理單位、設計單位等各方共同參與，進行工程質量的全麵檢查、係統調試和檢測，為工程全麵驗收鋪墊基礎。以此為目的而進行的檢測稱為“潔淨室竣工驗收檢測”。
　　竣工驗收應在各項工程經外觀檢查、單機試運轉、係統聯閤試運轉後進行。
　　1.2.1　竣工驗收的外觀檢查
　　潔淨室各部分工程的外觀檢查，是竣工驗收工作的第一步。由建設方、承包商、工程監理部門組成驗收小組對各項工程逐一檢查。除觀測外觀、檢查施工記錄、核對設計圖、變更圖外，對一些調節設備的靈活性，可操作性應予以關注。外觀檢查工作均應有文字記錄及參與人簽字。
　　潔淨室各項工程的外觀檢查應符閤以下要求：
　　1）各種管道、自動滅火裝置及淨化空調設備（空調器、風機、淨化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等）的安裝應正確、牢固、嚴密，其偏差應符閤有關規定；
　　2）高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封；
　　3）各類調節裝置應嚴密、調節靈活、操作方便；
　　4）淨化空調器、靜壓箱、風管係統及送、迴風口無灰塵；
　　5）潔淨室的內牆麵、頂棚錶麵和地麵，應光滑、平整、色澤均勻，不起灰塵，地闆無靜電現象；
　　6）送、迴風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力綫配管以及工藝設備等穿越潔淨室時，穿越處的密封處理應嚴密可靠；
　　7）潔淨室內各類配電盤、櫃和進入潔淨室的電氣管綫、管口應密封可靠；
　　8）各種刷塗、保溫工程應符閤有關規定。
　　1.2.2　竣工驗收的調試工作
　　1）凡有試運轉要求的設備的單機試運轉，應符閤設備技術文件的有關規定。屬於機械設備的共性要求，還應符閤國傢相關規定和機械設備施工安裝方麵的有關行業標準。
　　通常潔淨室需進行單機試運轉的設備有空調機組、送風增壓風機箱、排風設備、淨化工作颱、靜電自淨器、潔淨乾燥箱、潔淨儲物櫃等局部淨化設備，以及空氣吹淋室、餘壓閥、真空吸塵清掃設備等。

前言/序言

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