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作  者:尹恩华 著 定  价:108 出 版 社:科学出版社 出版日期:2015年07月01日 页  数:336 装  帧:平装 ISBN:9787030449672 ●前言
●高纯气体与电子学的关系
●高纯气的分类和应用
●一、引言
●二、根据半导体工艺用气的分类
●第二节气体纯度对半导体器件（光伏、光纤……）的影响
●一、高纯气体在半导体中的具体应用分类
●二、气体纯度和杂质及其表示方法
●三、气体中的杂质分类
●四、大规模集成电路对气体纯度的要求
●五、气体中杂质对半导体器件（光伏、光纤、电光源……）的影响
●参考文献
●第二章气体纯化
●吸附与吸附剂
●一、吸附分离
●二、吸附剂的物理性质
●三、吸附剂及其他纯化材料和性能
●四、气—固表面吸附平衡
●五、吸附剂的具体应用
●六、分子筛的其他应用
●部分目录

内容简介

本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等，无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心，在制取高纯气体方面，本书介绍靠前外近期新文献，包括：吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是气体分析的主体外，书中介绍近期新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体，使用的安全措施尤为重要，其内容还包括：容器、介质、传感器和废气的节能减排。
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