现代高纯气体

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尹恩华著 著
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店铺: 文轩网旗舰店
出版社: 科学出版社
ISBN:9787030449672
商品编码:1669906524
出版时间:2015-07-01

具体描述

作  者:尹恩华 著 定  价:108 出 版 社:科学出版社 出版日期:2015年07月01日 页  数:336 装  帧:平装 ISBN:9787030449672 前言
高纯气体与电子学的关系
高纯气的分类和应用
一、引言
二、根据半导体工艺用气的分类
第二节气体纯度对半导体器件(光伏、光纤……)的影响
一、高纯气体在半导体中的具体应用分类
二、气体纯度和杂质及其表示方法
三、气体中的杂质分类
四、大规模集成电路对气体纯度的要求
五、气体中杂质对半导体器件(光伏、光纤、电光源……)的影响
参考文献
第二章气体纯化
吸附与吸附剂
一、吸附分离
二、吸附剂的物理性质
三、吸附剂及其他纯化材料和性能
四、气—固表面吸附平衡
五、吸附剂的具体应用
六、分子筛的其他应用
部分目录

内容简介

本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等,无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心,在制取高纯气体方面,本书介绍靠前外近期新文献,包括:吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是气体分析的主体外,书中介绍近期新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体,使用的安全措施尤为重要,其内容还包括:容器、介质、传感器和废气的节能减排。

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