内容简介
《中外物理学精品书系·前沿系列15:硅基光电子学》是笔者在微纳光电子领域多年研究和教学基础上完成的,系统描述了硅基光电子学的基础理论、器件原理及应用前景。全书共10章。第1~3章讲述了硅基光电子学的起源及所需的基本知识;第4章介绍了硅基无源器件;第5~8章为硅基有源器件,包括光源、调制器、探测器、表面等离子体激元器件等;第9章介绍器件工艺与系统集成;第10章探讨了硅基光电子学的应用。
《中外物理学精品书系·前沿系列15:硅基光电子学》可作为高等院校电子学、光电子学、物理电子学、微电子与固体电子学、通信与信息系统、计算机技术等专业高年级本科生和研究生相关课程的教材。对于在相关领域内工作的研究人员和工程技术人员,《中外物理学精品书系·前沿系列15:硅基光电子学》也是一本有用的参考书。
作者简介
周治平,北京大学信息科学技术学院教授,长江学者特聘教授,SPIE Fellow IET Fellow.中国光学学会第六、第七届理事会理事,IEEE中国武汉分会创会主席(2006-2008)。1993年获美国乔治亚理工学院博士学位。长期从事微纳光电子器件及其集成技术的研究和开发,在硅基光源、纳米光栅、光电调制、光学传感、光子晶体、表面等离子体器件及硅基集成技术等方面有独创性成果。发表论文、特邀报告270余篇,参编书籍5部,拥有国际国内专利15项。讲授过现代电子通信、集成电路、光电子学、硅基光电子学等课程。
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目录
第一章 绪论
§1.1 从微电子到光电子
§1.2 硅基光电子学的发展
§1.3 硅基光电子学的应用
§1.4 总结
参考文献
第二章 硅中光子与电子的相互作用
§2.1 波动光学与光子光学
§2.2 半导体能带结构
§2.3 硅基光子晶体带隙结构
§2.4 硅中光子与载流子的相互作用
参考文献
第三章 硅基光波导
§3.1 电磁理论基础
§3.2 光波导基本理论
§3.3 波导耦合理论
§3.4 SOl光波导
参考文献
第四章 硅基无源器件
§4.1 光栅器件
§4.2 光子晶体平板波导
§4.3 多模干涉耦合器
§4.4 阵列波导光栅
§4.5 微环谐振腔
§4.6 总结
参考文献
第五章 硅基光源
§5.1 光发射的基础理论
§5.2 硅放大的限制
§5.3 硅基发光材料
§5.4 硅基发光二极管
§5.5 硅基激光器
§5.6 总结
参考文献
第六章 硅基光学调制
§6.1 光学调制原理
§6.2 光学调制评价
§6.3 硅基电光调制
§6.4 硅基热光调制
§6.5 硅基声光调制
参考文献
第七章 硅基光电探测器
§7.1 光电探测器的基本原理
§7.2 光电探测器的特性和结构
§7.3 硅光电探测器
§7.4 锗硅光电探测器
§7.5 总结
参考文献
第八章 硅基表面等离子激元器件
§8.1 表面等离子激元概述
§8.2 表面等离子激元局域增强特性
§8.3 表面等离子体激元器件
§8.4 总结
参考文献
第九章 硅基光电子器件工艺与系统集成
§9.1 平面工艺
§9.2 薄膜制备
§9.3 光刻技术
§9.4 刻蚀技术
§9.5 系统集成
§9.6 总结
参考文献
……
第十章 硅基光电子学的应用
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