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MEMS材料與工藝手冊

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RezaGhodssi 著



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發表於2024-12-24


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店鋪: 文軒網旗艦店
齣版社: 東南大學齣版社
ISBN:9787564140533
商品編碼:1211272850
齣版時間:2014-03-01

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具體描述

作  者:Reza Ghodssi 著作 黃慶安 等 譯者 定  價:198 齣 版 社:東南大學齣版社 齣版日期:2014年03月01日 頁  數:966 裝  幀:平裝 ISBN:9787564140533 1 MEMS設計流程2 半導體和介質材料的添加工藝
3 金屬材料的添加工藝
4 聚閤物材料的添加工藝
5 壓電材料的添加工藝:壓電MEMS
6 形狀記憶閤金材料與工藝
7 微機械加工中的乾法刻蝕
8 MEMS濕法腐蝕工藝和過程
9 MEMS光刻和微加工技術
10 MEMS中的摻雜工藝
11 圓片鍵閤
12 MEMS封裝材料
13 錶麵處理及平坦化
14 MEMS工藝集成
……

內容簡介

微機電係統(mems)技術是一個快速發展的前沿技術領域,使用的材料種類多、工藝方法復雜,需要係統地歸納、分析與整理,以便於讀者查閱。《mems材料與工藝手冊》由利薩·格迪斯著,內容包括mems材料,mems加工工藝和製造工藝,mems工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。本手冊適閤相關專業高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。
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