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內容簡介

　　射頻微機電係統技術是微機電係統的重要組成部分，《維納製造的基礎研究學術著作叢書：射頻微機電係統的理論、設計、製備及應用》主要從理論、設計、加工、封裝和應用等方麵介紹射頻微機電係統器件與係統，結閤作者及其團隊近年來在相關領域的研究成果，詳細分析和闡述傳輸綫、天綫、可調電感、可變電容、開關、濾波器、移相器等核心器件的基本原理、主要類型、設計方法、加工技術、性能測試和典型應用等，為讀者勾勒齣射頻微機電係統技術較為全麵的技術基礎、研究現狀和發展趨勢。
　　《維納製造的基礎研究學術著作叢書：射頻微機電係統的理論、設計、製備及應用》可作為微米納米技術領域高年級本科生、研究生和教師的參考用書，並可供相關的科技人員參考。

內頁插圖

目錄

《微納製造的基礎研究學術著作叢書》序
前言
第一章 RF MEMS
1.1 MEMS概述
1.2 RF MEMS簡介
1.3 RF MEMS發展曆史
1.4 RF MEMS常用工藝
1.4.1 體矽工藝
1.4.2 錶麵矽工藝
1.5 RF MEMS應用
1.5.1 在可重構電路中的應用
1.5.2 在手提式無綫係統中的應用
1.5.3 在基站中的應用
1.5.4 在無綫能量傳輸中的應用
參考文獻
第二章 RF MEMS設計與仿真
2.1 ANSYS
2.1.1 主要功能
2.1.2 分析實例：平行闆電容
2.2 CoventorWare
2.2.1 主要功能
2.2.2 分析實例：可調電容
2.3 IntelliSuite
2.3.1 主要功能
2.3.2 分析實例：RF開關
2.4 HFSS
2.4.1 主要功能
2.4.2 分析實例：矩形波導腔體天綫
2.5 CSTMicrowave Studio
2.5.1 主要功能
……
第三章　RF MEMS傳輸綫
第四章　RF MEMS電感
第五章　RF MEMS可變電容
第六章　RF MEMS開關
第七章　RF MEMS濾波器
第八章　RF MEMS移相器
第九章　RF MEMS天綫
第十章　RF MEMS封裝
索引

前言/序言

　　隨著人們認識世界尺度的微觀化，製造領域麵臨著麵嚮極小化的挑戰，其基礎研究正經曆著從可視的厘米、毫米尺度嚮基於分子、原子的納米製造技術過渡。納米製造科學是支撐納米科技走嚮應用的基礎。國傢自然科學基金委員會（以下簡稱基金委）重大研究計劃項目“納米製造的基礎研究”瞄準學科發展前沿、麵嚮國傢發展的重大戰略需求，針對納米精度製造、納米尺度製造和跨尺度製造中的基礎科學問題，探索製造過程由宏觀進入微觀時，能量、運動與物質結構和性能問的作用機理與轉換規律，建立納米製造理論基礎及工藝與裝備原理。重點研究範圍包括基於物理／化學／生物等原理的納米尺度製造、宏觀結構的納米精度製造、納／微／宏（跨尺度）製造、納米製造精度與測量、納米製造裝備新原理等。本重大研究計劃旨在通過機械學、物理學、化學、生物學、材料科學、信息科學等相關學科的交叉與融閤，探討基於物理／化學／生物等原理的納米製造新方法與新工藝，揭示納米尺度與納米精度下加工、成形、改性和跨尺度製造中的尺度效應、錶麵／界麵效應等，闡明物質結構演變機理與器件的功能形成規律，建立納米製造過程的精確錶徵與計量方法，發展若乾原創性的納米製造工藝與裝備原理，為實現納米製造提供堅實的理論基礎，並緻力提升我國納米製造的源頭創新能力。正如姚建年院士指齣的那樣：該重大研究計劃意義重大，通過原始創新性研究，旨在推動機械工程學科在基礎性、前沿性等方麵不斷進展，在國際上取得重要地位，在某一領域形成中國學派。同時，他強調瞭納米製造研究內容的創新性、學科交叉性、項目實施的計劃性等，並期望在基礎研究領域産生重大突破，取得重大成果。
　　《微納製造的基礎研究學術著作叢書》是科學齣版社依托基金委“納米製造的基礎研究”重大研究計劃項目，經過反復論證之後組織、齣版的係列學術著作。該叢書力爭起點高、內容新、導嚮性強，體現科學齣版社“三高三嚴”的優良作風。叢書作者都曾主持過重大研究計劃“納米製造的基礎研究”項目或國傢自然科學基金其他相關項目，反映該研究中的前沿技術，匯集納米製造方麵的研究成果，形成獨特的研究思路和方法體係，積纍豐富的經驗，具有創新性、實用性和針對性。
　　《微納製造的基礎研究學術著作叢書》涉及近幾年來我國圍繞納米製造科學的國際前沿、國傢重大製造工程中所遇到的基礎研究難題等方麵所取得的主要創新研究成果，包括錶麵納米錐的無掩模製造及光電特性，光刻物鏡光學零件納米精度製造基礎研究，銅互聯層錶麵的約束刻蝕化學平坦化新方法，大尺度下深紋納米結構製造方法與機理錶徵，基於為加工技術的微納集成製造原理及方法研究，微納流控係統跨尺度兼容一體化集成製造基礎研究，微／納光學陣列元件的約束刻蝕劑層加工技術與係統的基礎研究，等等。
　　毫米製造技術的應用，帶動瞭蒸汽工業革命，推動瞭英國的振興；微米製造技術的發展，帶來瞭信息工業革命，帶領美國的崛起；納米製造技術也必將引領第三次工業革命的浪潮，我國的納米製造業若能把握住曆史的機遇，必將屹立於浪潮之巔，為實現中華民族的偉大復興貢獻齣強勁的力量。
　　作為基金委重大研究計劃項目“納米製造的基礎研究”的指導專傢組組長，我深信《微納製造的基礎研究學術著作叢書》的及時齣版，必將推動我國納米製造學科的深入發展，在難題攻剋、人纔培養、技術推動等方麵發揮顯著作用。同時，希望廣大讀者提齣建議和指導，以促進叢書的齣版工作。
維納製造的基礎研究學術著作叢書：射頻微機電係統的理論、設計、製備及應用 下載 mobi epub pdf txt 電子書

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