《古书虚字集释》共收先秦两汉常见的虚字290余条（同词异形的合在一条）。此书汇集刘淇《助字辨略》、王引之《经传释词》、俞樾《古书疑义举例》、杨树达《词诠》、《高等国文法》、章炳麟《新方言》、孙经世《经传释词补》等书对虚字的研究成果，而以《经传释词》为主。凡采用各书材料，均作说明。其编次仿《经传释词》，以三十六字母为序。每一条目下，分列其不同的用法，然后列举例证。例句主要采自周秦两汉之书，间有采及后代之书作为旁证者。
此书的目的在于补正上列刘、王、俞、杨诸书。书中胜义不少。只是分析虚字用法过于求细，通转过多，是其瑕疵。且以三十六字母为序，对一般读者来说，未可称便。其书不是虚字者不收，不见于周秦两汉之书者不收，已为前人解说完备者不收，故收字相对较少，当与《词诠》等书配合使用。

《古书虚字集释》的编排办法同《经传释词》一样，用唐末僧人、音韵学家守温的三十六字母为收字顺序。、二、三、四卷是喉音字，如：与、予、以、已、于、方、因、允、安、焉、惟、矣、也、何、奚、胡、曷、乎等；第五卷是牙音字，如：故、顾、姑、各、敢、果、可、孔等；第六卷是舌音字，如：得、都、当、等、鼎、单、独、徒、殆、特、但、乃、那、知、良、来、略等；第七、八、九卷是齿音字，如：而、汝、女、如、若、然、耳、仍、则、将、兹、哉、作、斯、思、之、者、诸、所、是、孰等；第十卷是唇音字，如彼、必、毕、并、别、普、叵、颇、不、非、弗、无、毋、勿、微、罔等。
在具体写法上，对每个虚字都先谈其本义，再谈引申义以及假借义。凡所采前人说法，都在注语中说明。以“与”字为例：在“与”字条下，先说本义：“与，及也。”接着用小字注出这一解释的早出处：“见《礼记·檀弓》郑注”，然后就是举例。接下去是与“及”意有关的假借字，采取“字或作×”的体例，附属在有关义项之后。如在介绍“与，及也”这一解释的出处和举例之后是：
字或作“举”。左传昭公二年（应为三年——笔者）：“岂唯寡君举群臣，实受其贶，其自唐叔以下，实宠嘉之。”
这就是说，“与”表示“及”的意义时，假借字有“举”。象《左传》的这个例句，其中的“举”就是“及”的意思。

卷一
与举预予
吕以已似矣
已以
于汙
於于
欲
攸由县迪
由县猶攸过迪欲猷
猶由猷攸迪欲
卷二
因
允
容用庸
庸用容
用庸
安案按
焉
为声平
为声去
谓
曰越
吹聿音聿曰遹述越
粤越曰
爱
有又友佑宥或
又
或有惑
卷三
卷四
卷五
卷六
卷七
卷八
卷九
卷十
附
经传释词正误
本书说解述要
类书引古书多以意改说